표제지
목차
Abstract 10
제1장 서론 12
제2장 실험 배경 16
제1절 라만 분광학 16
제2절 전기 이중층 트랜지스터 19
제3장 실험 방법 21
제1절 제작 공정 및 방법 21
1. 금 매개 박리법(Gold mediated exfoliation) 21
2. 말린 구조 제작 23
3. 전자빔 리소그래피(E-beam lithography) 25
4. 전자빔 증착기(E-beam evaporator) 26
제2절 측정 방법 28
1. 원자 힘 현미경(Atomic Force Microscopy) 28
2. 라만 분광법(Raman spectroscopy) 30
3. Keithley 4200&프로브스테이션 31
4. 전기 이중층 트랜지스터 32
제4장 실험 결과 34
제1절 말린 전이금속 황화물의 구조적 특성 34
제2절 말린 전이금속 황화물의 밴드갭 측정 47
제3절 말린 전이금속 황화물의 라만 특성 56
제4절 말린 구조의 전계 효과 트랜지스터 특성 61
제5장 결론 64
참고문헌 66
국문초록 70
〈표 1〉 말린 시료들의 havg/w, Rout, Rin, 시료 길이 B, 턴 수의 평균 값 및 굽힘 강성 D[이미지참조] 46
〈그림 1〉 전이금속 칼코겐화합물의 모식도 15
〈그림 2〉 겹 수 변화에 따른 이황화몰리브덴(위)과 이황화텅스텐(아래)의 띠 구조 15
〈그림 3〉 라만 산란 시 에너지 변화 17
〈그림 4〉 이황화몰리브덴(좌)과 이황화텅스텐(우)의 라만 스펙트럼 18
〈그림 5〉 게이트 전극과 반도체 계면에 형성된 전기 이중층 20
〈그림 6〉 금 매개 박리법의 과정 22
〈그림 7〉 금 매개 박리된 이황화몰리브덴(좌)와 이황화텅스텐(우) 22
〈그림 8〉 말린 이황화몰리브덴(좌)와 말린 이황화텅스텐(우) 24
〈그림 9〉 전자빔 리소그래피와 전극 증착 과정 27
〈그림 10〉 주사 전자 현미경과 전자빔 증착기 27
〈그림 11〉 Keithley 4200(위)와 프로브스테이션(아래) 31
〈그림 12-1, 2〉 이황화몰리브덴의 말리기 전/후의 광학현미경 사진 35
〈그림 12-3, 4〉 원자 힘 현미경을 통한 말린 이황화몰리브덴 3차원 구조 P1(3), P2(4) 35
〈그림 12-5, 6〉 말린 이황화몰리브덴 단면도 P1(5), P2(6) 35
〈그림 13〉 아르키메데스 와선 37
〈그림 14〉 말린 이황화몰리브덴의 havg/w, Rout, 턴 수의 분포[이미지참조] 38
〈그림 15〉 말린 이황화몰리브덴의 havg/w와 Rout의 관계[이미지참조] 38
〈그림 16-1〉 두 겹 이황화몰리브덴의 말리기 전/후의 광학현미경 사진 39
〈그림 16-2, 3〉 말린 두 겹 이황화몰리브덴의 원자 힘 현미경을 통한 3차원 구조 P3(2), P4(3) 39
〈그림 16-4, 5〉 말린 두 겹 이황화몰리브덴의 단면도 P3(5)과 P4(6) 39
〈그림 17-1, 2〉 말린 이황화텅스텐의 광학현미경 사진 44
〈그림 17-3, 4〉 말린 이황화텅스텐의 원자 힘 현미경을 통한 3차원 구조 P5(3), P6(4) 44
〈그림 17-5, 6〉 말린 이황화텅스텐의 단면도 P5(5), P6(6) 44
〈그림 18〉 말린 이황화텅스텐의 havg/w, Rout, 턴 수의 분포[이미지참조] 45
〈그림 19〉 말린 단일 겹 이황화텅스텐의 havg/w와 Rout의 관계[이미지참조] 46
〈그림 20〉 말린 단일 겹 이황화몰리브덴과 대조군의 광학적, 전기적 밴드갭 측정 결과 50
〈그림 21〉 이황화몰리브덴 시료의 밴드갭과 엑시톤 결합 에너지의 크기 50
〈그림 22〉 말린 두 겹 이황화몰리브덴에 대한 전기적 밴드갭 측정 결과 로그 스케일(좌)과 선형 스케일(우) 52
〈그림 23〉 말린 이황화텅스텐과 대조군의 광학적, 전기적 밴드갭 측정 결과 53
〈그림 24〉 이황화텅스텐 시료의 밴드갭과 엑시톤 결합 에너지의 크기 54
〈그림 25〉 이황화몰리브덴 시료의 라만 스펙트럼(좌)과 E12g, A1g 피크의 거리 대 Rout 의 관계(우)[이미지참조] 58
〈그림 26〉 이황화텅스텐 시료들의 라만 스펙트럼(좌) 및 Rout과 피크 간 거리의 관계(우)[이미지참조] 60
〈그림 27〉 말린 이황화몰리브덴과 단일 겹 대조군에 대한 게이트 전압 대 컨덕턴스 곡선 63
〈그림 28〉 말린 이황화텅스텐과 단일 겹 대조군에 대한 게이트 전압 대 컨덕턴스 곡선 63