반도체 산업의 고도화, 고집적화로 고출력 환경의 공정 도입이 가속화됨에 따라, 대표적인 고부가가치 소모품인 정전척용 알루미나의 수명 및 특성 향상 연구에 대한 관심이 급격하게 증가하고 있다. 대표적으로 고부가가치 소모품인 정전척용 알루미나의 수명 및 특성 향상 연구에 대한 관심이 급격하게 증가하고 있는데 기존 정전척용 알루미나는 Co-Firing, Hot Press 공정으로 제조되고 있으나, 이러한 일반적인 분말야금 소결 공정은 내부 잔류기공을 완전하게 제거하지 못하는 문제점을 피할 수 없고, 특성을 향상시킬 수 있는 공정 개발 역시 한계에 직면하였다고 판단되고 있다. 따라서 본 연구에서는 등방압의 온도와 압력을 이용한 분말야금 공정인 SInter-HIP (Hot Isostatic Press)을 활용하여 수명과 특성이 우수한 차세대 정전척용 알루미나 제조기술을 개발하고자 한다. Sinter-HIP 공정은 pure 알루미나 분말을 Can에 장입하여 진공으로 밀봉한 뒤 일정 온도를 고정 후 시간, 압력을 변수로 두어 분말 야금을 진행하였다. 특히, HIP 공정 시간, 압력의 변화와 알루미나 특성과 상관관계를 규명하기 위해 각각의 공정 조건에서 알루미나를 제조하였고, 각 알루미나의 기계적, 전기적 특성, 그리고 미세조직을 비교 평가 및 분석하였다. 연구 결과, Sinter-HIP 시간, 압력에 따라 알루미나의 기계적, 전기적 특성이 일련의 상관관계를 가지고 있음을 확인할 수 있었고, 이에 따른 미세조직의 변화 역시 관찰할 수 있었다.