목차
구리반도체용 저유전재료 : 기계적 물성을 중심으로한 신뢰성 평가에 대하여 / 차국헌 1
1. 서론 1
2. 저유전재료의 기계적 물성 1
2.1. 미소하중 압입방법(nanoindentation) 1
2.2. 균열전파속도 측정 3
3. m-ELT(modified Edge Lift-off Test) 방법을 이용한 저유전재료의 계면접착 신뢰성 평가 4
4. 결언 5
5. 참고문헌 5