목차
3 nm Node Nanoplate-FET에서 Self-heating Effect의 완화 방법 = Mitigation of self-heating effects in 3 nm node nanoplate-FET / 김현우 ; 전종욱 ; 강명곤 ; 신형철 1
요약 1
Abstract 1
I. 서론 1
II. 본론 2
1. 소자의 구조에 따른 Self-heating Effect 2
2. Corner Spacer에서 Self-heating Effect에 큰 영향을 미치는 요소 4
III. 결론 5
REFERENCES 6
저자소개 6