[표지] 1
제출문 2
(1) 단계 보고서 3
요약문 4
SUMMARY(영문 요약문)[내용없음] 17
CONTENTS(영문 목차)[내용없음] 18
목차 19
제1장 연구개발과제의 개요 21
1. 연구개발의 목적 21
2. 연구개발의 필요성 및 범위 25
가. 글로벌 트렌트 25
나. 정부정책과 부합성 30
다. 기관 임무와 부합성 31
제2장 국내외 기술개발 현황 33
1. 시장 및 기술 현황과 전망 33
가. 세계 동향과 전망 33
나. 국내 동향과 전망 41
다. 연구원 경쟁력 분석과 기술개발 방향 47
제3장 연구개발수행 내용 및 결과 51
1. 롤투롤 다층 박막 증착 장비 기술 개발 51
가. 유연 OLED 생산을 위한 롤투롤 다층 박막 증착 장비 설계 및 제작 51
나. 대면적 유/무기 소재 박막 균일 증착 기술 64
다. 롤투롤 연속 공정에서 미세패턴 증착을 위한 성능 실험 73
2. 유연 기판-Mask 간 실시간 정밀 tracking 기술 개발 76
가. 기판-mask 간의 정렬 오차 및 gap 실시간 측정 모듈과 정밀 얼라인 모듈 설계 76
나. 유연 기판-mask 실시간 정밀 tracking 기술 81
3. 유연 OLED 소자 생산 공정 기술 개발 84
가. 유연 투명 전극 제작 기술 84
나. 유연 OLED 소자 구현 기술 97
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 104
1. 목표달성도 종합 104
가. 최종 연구목표 대비 진척도(종합적인 관점에서 작성) 104
나. 당해 연구목표 대비 진척도 110
다. 기술적 성과 111
라. 정량적 성과 112
마. 대내외 융합연구 또는 연구협력 실적 118
2. 관련분야에의 기여 118
제5장 연구개발성과의 활용계획 120
1. 결과 활용 방안 120
2. 파급효과 121
제6장 연구시설·장비 현황[내용없음] 124
제7장 참고 문헌 125
[뒷표지] 126