추천사프롤로그Part 1. 반도체란반도체의 본명은 집적 회로● 집적 회로란?● 집적 회로의 탄생사● 초고집적 회로우리 주변의 반도체● 메모리 반도체● 시스템 반도체● 반도체 기업의 분류메모리 반도체의 기억법● 디지털 정보 저장 방법● DRAM의 정보 저장 원리● 메모리 용량 가늠하기전자가 움직이는 방법● 수학의 언어적 속성● 물질의 전기 전도도● 전기의 흐름을 다루기 위한 기초 지식● 물체 안에서 전자가 움직이는 방법다이아몬드 탈을 쓴 실리콘● 원자의 생김새● 실리콘 원자와 결정 구조실리콘 반도체● 이동 전하의 생성과 움직임● 실리콘 반도체● 실리콘 반도체 기판(웨이퍼)트랜지스터 이야기● MOS 트랜지스터● p-n 접합● CMOS커패시터 이야기● 원자 분극● 이온 분극● 커패시터의 전하 저장 원리● 커패시터의 전기 용량Part 2. 반도체와 건축DRAM의 건축학● 집적 회로는 건축물이다● DRAM의 건축법● 집적 회로 건축법의 기초● DRAM 건축하기DRAM 건축 양식의 변천사● 셀 트랜지스터 건축 양식의 변천사● 셀 커패시터 건축 양식의 변천사DRAM 건축 완공하기● DRAM 셀 구축하기● DRAM 건축 완공하기NAND 플래시 메모리의 기억법● 셀 트랜지스터의 구조● 정보 저장 원리● 다중 비트 저장하기NAND 플래시 메모리의 건축학● 기본 셀의 구조● 셀 트랜지스터 수직으로 세우기● 3D NAND 플래시 메모리 셀의 제조 과정시스템 반도체의 건축학● 변형된 Si 게이트 MOSFET● 고유전 상수 게이트 MOSFET● FinFET과 GAAFET● 다층 배선의 특징● 집적 회로 건축학을 마무리하며반도체와 미술● 집적 회로 아키텍처와 미술● 수학과 추상화Part 3. 반도체 제조법열산화와 이온 주입● 실리콘의 열산화● 이온 주입● 급속 열처리● MOS 트랜지스터 제조 과정 되짚어보기화학으로 박막 입히기● 화학 기상 증착화학으로 만든 박막● 플라즈마 강화 화학 기상 증착● 금속의 화학 기상 증착원자 한 층씩 쌓아올리기● 원자층 증착당구와 상감 청자● 물리 기상 증착● 전기 도금박막 장비, 부품, 소재● 박막 장비와 부품● 박막 장비, 부품, 소재 관련 기업빛으로 패턴 새기기● 빛 이야기● 포토리소그래피● 노광의 원리와 분해능빛 새김 기술의 발전사● ArF 액침 노광● 다중 패터닝● EUV 노광● 포토리소그래피 장비와 소재 관련 기업패턴 깎아내기● 수직 식각● 식각● 식각 장비, 부품, 소재와 관련 기업갈아내고 닦아내기● 화학적 기계적 연마● 세정에필로그