생몰정보
소속
직위
직업
활동분야
주기
서지
국회도서관 서비스 이용에 대한 안내를 해드립니다.
검색결과 (전체 1건)
원문 있는 자료 (1) 열기
원문 아이콘이 없는 경우 국회도서관 방문 시 책자로 이용 가능
목차보기더보기
표제지
목차
1. 서론 7
2. 문헌조사 8
2.1. 합성 세정제 8
2.1.1. 세정제 소개 8
2.1.2. 수성 세정제의 성분 8
2.1.3. 세정제 산업동향 10
2.2. 반도체 공정에서의 수성 세정제 11
2.2.1. 반도체 공정에 쓰이는 수성 세정제의 역할 11
2.2.2. 수성 세척공정(Aqueous-cleaning process) 11
2.2.3. 세정용액의 수명 연장과 관리(Chemistry bath-life extension and control) 12
2.2.4. 세정 및 부식 억제의 화학(Chemistry cleaning and corrosion inhibition) 12
2.3. 일반적인 반도체 클리닝 공정(General semi-conductor cleaning process) 12
2.4. 반도체의 세정성 평가 13
2.4.1. 중량법 13
2.4.2. 접촉각 법(Contact angle test) 13
2.4.3. 정밀기기에 의한 측정법 14
2.5. 개발 세정제의 성분 및 시험 15
2.5.1. 개발 세정제 원료별 특성 15
2.6. 재료 및 시험 20
2.6.1. 시료 제조 20
2.6.2. 실험 장치 및 기기 20
2.6.3. 시험 방법 20
3. 결과 및 고찰 25
3.1. 표면장력 결과 25
3.2. 모재 부식성 시험 결과 26
3.3. 기포력 측정 결과 27
3.4. 세정력 시험 결과 28
3.5. 생분해도 결과 29
3.6. 미생물 억제 및 박테리아 살균실험 결과 31
4. 결론 33
참고문헌 34
초록 36
부록 37
원문구축 및 2018년 이후 자료는 524호에서 직접 열람하십시요.
도서위치안내: / 서가번호:
우편복사 목록담기를 완료하였습니다.
* 표시는 필수사항 입니다.
* 주의: 국회도서관 이용자 모두에게 공유서재로 서비스 됩니다.
저장 되었습니다.
로그인을 하시려면 아이디와 비밀번호를 입력해주세요. 모바일 간편 열람증으로 입실한 경우 회원가입을 해야합니다.
공용 PC이므로 한번 더 로그인 해 주시기 바랍니다.
아이디 또는 비밀번호를 확인해주세요