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표제지

요약

목차

I. 서론 10

1. 연구 배경 10

2. 연구 목적 12

3. 연구 방법 14

II. 범프공정의 개요 및 선행연구 검토 16

1. 범프 공정의 개요 16

2. 법규 현황 검토 18

3. 선행연구 사례 20

1) 보호구 착용률 연구 동향 20

2) 보호구 착용에 관한 연구 24

III. 보호구 착용 레벨설정 기준 개발 25

1. 보호구 착용 레벨 기준설정 요구사항 25

2. 보호구 착용 레벨 기준설정 26

1) 레벨별 보호구 착용기준 선정 26

2) 보호구 레벨설정 단계 29

3. 보호구 착용 레벨 기준적용 35

4. 보호구 착용 레벨 기준적용 결과 44

IV. 결론 및 제언 51

참고문헌 52

표목차

〈Table 2-1〉 범프 프로세스 세부공정 17

〈Table 2-2〉 보호구 착용 관계 법령 18

〈Table 2-3〉 Major reasons of not wearing respirators 21

〈Table 2-4〉 선행논문연구의 주요 내용 23

〈Table 3-1〉 눈, 피부보호용 보호구 착용기준 26

〈Table 3-2〉 호흡기보호 보호구 착용기준 27

〈Table 3-3〉 레벨에 따른 착용 보호구 28

〈Table 3-4〉 단계별 보호구 착용 매트릭스 31

〈Table 3-5〉 반도체 업종 작업형태의 예 31

〈Table 3-6〉 일반적인 JSA 실행 양식 32

〈Table 3-7〉 작업분석 양식 33

〈Table 3-8〉 보호구 착용기준 레벨설정 (노출 우려 작업) 34

〈Table 3-9〉 보호구 착용기준 레벨설정 (화학물질 취급작업) 34

〈Table 3-10〉 설정 대상 작업 35

〈Table 3-11〉 에칭 공정 노출 우려 작업 보호구 레벨설정 37

〈Table 3-12〉 에칭 공정 화학물질 취급작업 보호구 레벨설정 40

〈Table 3-13〉 스퍼터 공정 보호구 착용 레벨 기준설정 결과 44

〈Table 3-14〉 포토 공정 보호구 착용 레벨 기준설정 결과 45

〈Table 3-15〉 도금 공정 보호구 착용 레벨 기준설정 결과 46

〈Table 3-16〉 에칭 공정 보호구 착용 레벨 기준설정 결과 47

〈Table 3-17〉 리플로우 공정 보호구 착용 레벨 기준설정 결과 48

〈Table 3-18〉 재작업 공정 보호구 착용 레벨 기준설정 결과 48

〈Table 3-19〉 보호구 착용 레벨 기준설정 적용결과 50

그림목차

〈Figure 1-1〉 보호구 착용 기준 개발의 목적 13

〈Figure 1-2〉 보호구 착용 기준 개발·적용 방법 15

〈Figure 3-1〉 보호구 레벨설정 단계 30

〈Figure 3-2〉 작업분석 실행 예 33

〈Figure 3-3〉 작업분석 결과 36

초록보기

 반도체 제조공정은 전(前)공정과 후(後)공정으로 구분되어 있다. 전공정은 웨이퍼를 가공하여 그 위에 회로를 형성하고 집적하는 과정으로 크게 설계와 제조로 나누어진다. 후공정은 회로패턴이 새겨지고 금속 배선이 완성되고 원하는 전기적 특성을 갖는 웨이퍼를 잘라 각각의 칩을 테스트 진행 후 패키징하여 제품을 완성하는 단계이다. 그리고 반도체 제조업은 많은 화학물질을 취급하는 업종 중 하나로 특히 후공정에 속하는 범프 공정에서는 식각, 도금의 공정이 있어 많은 인화성, 독성물질을 취급하고 있어 화학물질 취급 근로자의 관리가 중요하다.

중소기업의 화학물질 취급공정에서는 경제적인 부담을 이유로 작업환경 개선보다는 근로자 개인 보호구 지급에 의존하고 있다. 그러나 일괄된 보호구 지급 및 착용 요청으로 대부분의 근로자들은 귀찮음, 답답함 등을 이유로 보호구를 착용하지 않거나 어떠한 보호구를 착용해야 하는 정확히 알지 못해 부적절할 보호구 착용하고 있다. 이에 따른 화학물질에 의한 노출 위험도가 높아 근로자의 보호구 착용에 대한 관리가 요구된다.

이에 작업환경, 작업방법에 따른 보호구 착용에 대한 레벨을 설정, 개발하여 이를 매트릭스화 하였다. 또한, 반도체 제조 범프 공정을 대상으로 개발된 보호구 착용 기준 매트릭스를 사용하여 레벨을 설정하였다. 해당 공정의 화학물질 취급대상 장비의 각 세부작업을 대상으로 선정하였다. 장비별 화학물질 취급작업에 대한 작업분석은 28개 장비 130종의 화학물질에 대한 장비별 7개의 대상 작업을 통해서 총 910개의 작업방법을 조사, 분석하여 보호구 착용 레벨 기준을 적용하였다.

적용결과 작업별 보호구 착용 레벨이 설정되어 근로자가 어떠한 보호구를 착용해야 하는지 알릴 수 있었다. 일괄적인 보호구 착용에서 정확하게 보호구 착용을 알릴 수 있어 보호구 착용에 대한 신뢰도 향상을 시킬 수 있다. 또한 고위험 작업 (레벨 3)을 구분하여 근로자에게 위험작업을 인지시켜 보호구 착용을 유도하여 착용률을 향상 시킬 수 있을 것으로 기대된다.

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