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목차
SNU 1.5-MV 직렬형 반데그라프 가속기를 이용한 러더포드 후방산란 분광법에 의한 소재의 표면적층 분석 / 박혜일 ; 배영덕 ; 박준교 ; 김명섭 ; 곽종구 ; 김창석 1
요약 1
1. 서론 1
2. 분석 이론 2
3. 장치 개요 2
4. 분석 사례 3
4.1. 단일층 단일원소 시료 3
4.2. 단일층 화합물 시료 4
4.3. 이중층 단일원소 시료 6
4.4. 이중층 화합물 시료 6
4.5. 삼중층 화합물 시료 8
4.6. 이온 주입 시료 8
5. 결론 10
참고문헌 12
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