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목차
새로운 조합 펌프를 사용한 스테인레스 스틸 극고진공 시스템 / 전인규 ; 조복래 ; 정석민 1
요약 1
Abstract 1
1. 서론 1
2. 실험 장치 및 방법 2
3. 극고진공의 구현 3
4. 결론 4
참고문헌 4
기사명 | 저자명 | 페이지 | 원문 | 목차 |
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새로운 조합 펌프를 사용한 스테인레스 스틸 극고진공 시스템 | 전인규 外 | pp.1-14 |
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깨끗한 Si(001) 표면의 buckled dimer 구조 연구 : a(2×1)과 c(4×2) | 김성수 外 | pp.5-10 |
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Na₂Se/NH₄OH 용액으로 처리된 GaAs 표면의 안정성 연구 | 사승훈 外 | pp.11-16 |
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동시 스퍼터링법에 의한 Pb(Fe₀.₅,Nb₀.₅)O₃ 박막의 제조 및 특성 평가에 대한 연구 | 이상욱 外 | pp.17-23 |
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n형 InGaAs에 형성된 Pd/Ge계 오믹 접촉 특성에 미치는 급속 열처리 온도의 영향 | 김일호 外 | pp.24-28 |
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PECVD로 증착된 a-Si 박막의 고상결정화에 있어서 기판 온도 및 수소희석의 효과 | 이정근 | pp.29-34 |
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100 keV O^+^ 이온 빔에 의한 SIMOX SOI의 Si-SiO₂ 계면 구조 | 김영필 外 | pp.35-42 |
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원격플라즈마화학증착에 의한 투명전도성 산화주석 박막 | 이흥수 外 | pp.43-50 |
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Traveling Wave Reactor Atomic Layer Epitaxy를 이용한 ZnS와 ZnS:Tb 박막의 성장과 박막 특성의 연구 | 윤선진 ; 남기수 | pp.51-58 |
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다층 다이아몬드상 카본 필름의 윤활 및 마모 거동 | 김명근 外 | pp.59-65 |
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Ga₂S₃ : Er 단결정의 Photoluminescence 특성 연구 | 진문석 ; 김화택 | pp.66-71 |
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새로운 반응장치를 이용한 기능성 플라즈마 중합막의 제작 | 김종택 外 | pp.72-76 |
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번호 | 참고문헌 | 국회도서관 소장유무 |
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