본문 바로가기 주메뉴 바로가기
국회도서관 홈으로 정보검색 소장정보 검색

초록보기

RF magnetron sputtering법을 이용하여 quartz 기판 위에 spinel 구조의 ZnGa2O4:Mn2+ 박막 형광체를 상온에서 증착 하였다. 후 열처리 온도에 따라 박막의 결정성, 표면 거칠기와 조성비가 변하였으며 이는 박막 형광체의 발광특성에 영향을 주었다. 후 열처리 온도가 500 ℃에서 900 ℃로 올라감에 따라, 후 열처리 온도가 700 ℃일 때 가장 낮은 수치의 표면 거칠기를 보였고 이로 인한 낮은 외부 양자 효율로 인하여 발광특성이 좋지 않았다. 후 열처리 온도가 800 ℃일때 결정화 정도가 좋았으며 적당한 표면 거칠기와 화학적 조성비로 인해 최적의 발광특성을 보였다. 반면 후 열처리 온도가 900 ℃일 때 결정성은 가장 좋았으나 Zn의 높은 증기압으로 인한 화학적 조성비의 깨짐으로 발광특성이 좋지 못하였다.

Thin-film ZnGa2O4:Mn2+ phosphors of spinel structure were grown on quartz substrate by RF magnetron sputtering method at room temperature. As an increase of post-annealing temperatures, crystallinity, surface roughness and stoichiometry of thin films were varied. At the post-annealing temperatures of 500 ℃ and 600 ℃, the luminescence intensity was poor due to the poor crystallinity. The smallest surface roughness was observed at the sample post-annealed at 700 ℃ leading to low external extraction efficiency, and poor luminescence intensity. The highest luminescence intensity was shown at the sample post-annealed at 800 ℃. It was because both the surface roughness and crystallnity were optimized. On the other hand, at 900 ℃, the luminescence intensity was poor due to the violation of stoichiometry.

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
차세대 가속기용 공동형 빔위치 측정기 개발 김승환 ;박용정 ;황운하 ;황정연 ;Y. Honda ;Y. Inoue pp.331-337

MPCA 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태진단에 관한 연구 성동원 ;김재환 ;정원태 ;이수갑 ;정완섭 ;임종연 ;정광화 pp.338-346

헬륨 투과형 표준리크 교정장치 개발 홍승수 ;임인태 ;신용현 pp.347-353

유리기판의 친수·소수 상태 변화를 이용한 자기정렬 Ag pattern 형성 연구 추병권 ;최정수 ;김건정 ;이선희 ;박규창 ;장 진 pp.354-359

O/Pd(100)-P(2×2) 표면구조 및 수소흡착 효과의 제일원리 이론계산 연구 정성철 ;강명호 pp.360-366

Magnetoresistance in post-annealed Bi thin films on PbTe-buffered CdTe(111)B and on mica substrates Yunki Kim ;Jin-sung Choi ;Hai Bo Li ;Sunglae Cho pp.367-373

Pin-to-plate type 대기압 PECVD 방법을 이용해 성장된 다중벽 탄소나노튜브의 전계방출 특성연구 박재범 ;경세진 ;염근영 pp.374-379

차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속 장치의 제작과 아르곤 아크 플라스마의 발생에 따른 회로 분석 및 전기 광학적 특성 연구 이수범 ;문민욱 ;오필용 ;송기백 ;임정은 ;홍영준 ;이원주 ;최은하 pp.380-386

Low-angle forward reflected neutral beam etching을 이용한 aspect-ratio-dependent etching 현상의 제거 민경석 ;박병재 ;염근영 ;김성진 ;이재구 pp.387-394

Cu 기판위에 성장한 MgO, MgAl₂O₄와 MgAl₂O₄/MgO 박막의 집속이온빔을 이용한 스퍼터링수율 측정과 이차전자방출계수 측정 정강원 ;이혜정 ;정원희 ;오현주 ;박철우 ;최은하 ;서윤호 ;강승언 pp.395-403

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn^2+^의 RF magnetron sputtering법을 이용한 생장 김종수 ;이성훈 ;박재홍 ;박형원 ;최진철 ;박홍이 pp.404-409

두꺼운 박막 성장시 steering 효과 연구 서지근 ;김재성 pp.410-420

화학증착 시스템에서의 파이프내 오염입자 관찰을 위한 초음파 및 진동 진단법의 비교연구 윤주영 ;성대진 ;신용현 ;이지훈 ;문두경 ;강상우 pp.421-426

고분자 공중합체와 알루미늄 양극 산화막 템플레이트를 이용한 나노점 배열 형성 박성찬 ;배창현 ;박승민 ;하정숙 pp.427-433