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목차
고농도 Boron의 3차원적 확산분포 해석 및 3차원 현상 분석/권오근;이봉락;김성국 1
Abstract 1
I. 서론 2
II. 고농도 불순물의 확산 이론 및 수치해석 2
III. 시뮬레이션 결과 7
IV. 결론 9
참고문헌 11
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