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기사명/저자명
혼합 소스 수소화물 기상 에피택시에 의한 AlN 에피층 성장 = Growth of an AlN Epilayer by Using Mixed-Source Hydride Vapor Phase Epitaxy / 배숭근, 전인준, 양민, 이삼녕, 안형수, 전헌수, 김경화, 이상칠, 김석환 인기도
발행사항
서울 : 한국물리학회, 2018.01.31
수록지명
새물리 = New physics : 한국물리학회지. 제68권 제1호 (2018년 1월), pp.39-45
자료실
[서울관] 정기간행물실(524호)  도서위치안내(서울관)
외부기관 원문
외부기관 원문
제어번호
KINX2018031377
주기사항
한국연구재단에서 제공한 KCI 등재학술(후보)지임
원문

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목차

혼합 소스 수소화물 기상 에피택시에 의한 AlN 에피층 성장 = Growth of an AlN Epilayer by Using Mixed-Source Hydride Vapor Phase Epitaxy / 배숭근 ; 전인준 ; 양민 ; 이삼녕 ; 안형수 ; 전헌수 ; 김경화 ; 이상칠 ; 김석환 1

[요약] 1

I. 서론 2

II. 실험 방법 2

III. 실험 결과 및 논의 3

IV. 결론 6

REFERENCES 6

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권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 기사목차
브릴루앙 광산란 분광법을 이용한 응집물질의 탄성 특성 및 상전이 거동 연구 = Study on the Elastic Properties and the Phase Transition Behavior of Condensed Matter by Using Brillouin Light Scattering Spectroscopy 고재현 pp.1-19 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
펄스스퍼터증착법으로 성장한 AlN 박막의 열처리에 따른 결정성 변화에 관한 고찰 = Study on the Crystallinity Change Caused by Heat Treatment of AlN Thin Films Grown by Using Pulsed Sputter Deposition 최준석, 고동완, 조성민, 이상태, 장지호 pp.20-24 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
커피 찌꺼기를 이용한 기능성 발포블록 개발 및 특성분석 = Development and Characterization of a Functional Foam Block by Using Waste Coffee Powder 이주현, 곽민석, 양현경 pp.25-31 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
SiO₂게이트 인슐레이터 표면 플라스마 처리에 따른 용액공정 비결정성 InGaZnO TFT의 특성 분석 = Effect of Plasma Treatment on a SiO₂Gate Insulator in Solution-Processed Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistors 백범슬, 정재욱 pp.32-38 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
혼합 소스 수소화물 기상 에피택시에 의한 AlN 에피층 성장 = Growth of an AlN Epilayer by Using Mixed-Source Hydride Vapor Phase Epitaxy 배숭근, 전인준, 양민, 이삼녕, 안형수, 전헌수, 김경화, 이상칠, 김석환 pp.39-45 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
CuO를 첨가한 K_0.5_Na_0.5_NbO₃단결정의 임피던스와 모듈러스 특성 = Impedance and Modulus Spectroscopy Characterizations of CuO-Added K_0.5_Na_0.5_NbO₃Single Crystals 이찬구 pp.46-54 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
Phase Shift Analysis and the Optical Potential Obtained by Using Inversion for α + ^58^Ni Elastic Scattering Yong Joo Kim, Seok Jae Lee pp.55-61 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
역학적 평형에 관한 지속적 불일치 상황에 대면한 대학생의 반응 = Responses of University Students Confronted with a Sustained Anomalous Situation with a Dynamic Balance 안준호, 최혁준 pp.62-70 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
과제 수행형 과학 창의성 평가 도구의 개발과 적용 = Development and Application of a Task-Based Assessment Tool for Scientific Creativity (TATSC) : Focused on Physics Contents : 물리 내용을 중심으로 이경학, 박종원 pp.71-83 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
대류실험 장치의 개발 및 활용 = Development of a Convection Experiment Apparatus and its Applications 김태규 pp.84-93 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
개념적 혼성 관점의 가능성에 대한 이론적 탐색 = Theoretical Investigation of the Potentiality of a Conceptual Blending View : Focusing on an Analysis of the Concept of Wave-Particle Duality : 입자파동 이중성에 대한 개념분석을 중심으로 정용욱 pp.94-102 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
과학 교사의 해외 과학실험 봉사활동 발전 과정에 대한 분석 = Analysis of the Developmental Process of the Overseas Science Experiment Volunteer Activity of Science Teachers 한재영, 임성민 pp.103-116 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
중등물리교사임용시험 문항에 나타난 물리교육학 내용 분석 = Analysis of Physics Education Theory in the Questions on the Employment Examination for Secondary School Physics Teacher : 2002~2017학년도를 중심으로 강경희 pp.117-123 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
패러데이 전자기 유도와 결합된 진자의 운동 해석 = Analysis of the Motion of a Harmonic Oscillator Coupled to Faraday's Law 김세헌, 고태언, 이세현, 김광선, 오승원, 김현석 pp.124-128 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
냉각된 ^87^Rb 원자의 5S_½_-5P_⅔_-4D_5/2_ 전이선에서 전자기 유도 투과 = Electromagnetically Induced Transparency in the 5S_½_-5P_⅔_-4D_5/2_ Transition of Cold ^87^Rb Atoms 김평우, 문한섭 pp.129-134 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
폴라주 작품에 나타나는 역동적 이미지 변화의 물리적 원리 탐색 = Investigation of the Physical Principle Behind the Dynamic Image Change of Polage Artworks 정용욱 pp.135-141 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
디지털 홀로그래픽 현미경을 이용한 미소부피 측정 = Sub-Nanoliter Volume Measurement by Using a Digital Holographic Microscope 유영훈 pp.142-146 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
비국소 중력에서 동역학 분석 = Dynamical Analysis in Nonlocal Gravity 고석태 pp.147-154 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기

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번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 M. A. Khan, Q. Chen, M. S. Shur, B. T. Mcdermot and J. A. Higgins, IEEE Electron Device Lett. 17, 325 (1996). 미소장
2 Y. F. Wu, B. P. Keller, S. Keller, D. Kapolnek and P. Kozodoy et al., Appl. Phys. Lett. 69, 1438 (1996). 미소장
3 B. K. Bose, IEEE Industr. Electr. Magazine 4, 6 (2010). 미소장
4 B. K. Bose, IEEE Trans. Power Electron. 15, 688 (2000). 미소장
5 M. Z. Jacobson and M. A. Delucchi, Sci. Am. 301, 58 (2009). 미소장
6 C. R. Lee, J. Cryst. Growth 246, 25 (2002). 미소장
7 T. Kato, Y. Honda, Y. kawaguchi, M. Yamaguchi and N. Sawaki, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1896 (2001). 미소장
8 F. Fedler, R. J. Hauenstein, H. Klausing, D. Mistele and O. Semchinova et al., J. Cryst. Growth 241, 535 (2002). 미소장
9 J. K. Gillespie, R. C. Fitch, N. Moser, T. Jenkins and J. Sewell et al., Solid-State Electron. 47, 1859 (2003). 미소장
10 M. A. Mastro, D. Tsvetkov, V. Soukhoveev, A. Usikov and V. Dmitriev et al., Solid-State Electron. 48, 179 (2004). 미소장
11 J. LaRoche, B. Luo, F. Ren, K. H. Baik and D. Stodilka et al., Solid State Electron. 48, 193 (2003). 미소장
12 K. H. Kim, J. Y. Yi, H. J. Lee, K. S. Jang and M. Yang et al., Sae Mulli 50, 175 (2005). 미소장
13 T. G. Zhu, U. Chowdhury, J. C. Denyszyn, M. M. Wong and R. D. Dupuis, J. Cryst. Growth 248, 548 (2003). 미소장
14 Y. T. Moon, H. H. Lee, D. Y. Noh, S. J. Park and D. J. Kim et al., J. Korean Phys. Soc. 42, 557 (2003). 미소장
15 Y. H. Jeong, C. S. Oh, E. H. Shin, J. Y. Kim and J. W. Yang et al., J. Korean Phys. Soc. 44, 140 (2004). 미소장
16 I. Akasaki, H. Amano, S. Sota, H. Sakai and T. Tanaka et al., Jpn. J. Appl. Phys. 34, L1517 (1995). 미소장
17 Y. H. Cho, G. H. Gainer, J. B. Lam, J. J. Song and W. Yang et al., J. Korean. Phys. Soc. 39, S189 (2001). 미소장
18 S. Kitagawa, H. Miyake and K. Hiramatsu, Jpn. J. Appl. Phys. 53, 05FL03 (2014). 미소장
19 S. Nakamura and G. Fasol, The Blue Laser Diode (Springer, Berlin, 1997), p. 7. 미소장
20 Y. J. Yu, M. Y. Ryu, P. W. Yu, D. J. Kim and S. J. Park, J. Korean Phys. Soc. 38, 134 (2001). 미소장
21 H. M. Kim, J. S. Choi, J. E. Oh and T. K. Yoo, J. Korean. Phys. Soc. 37, 956 (2000). 미소장
22 I. Jeon, C. Lee, S. G. Bae, G. S. Lee and M. Yang et al., New Phys.: Sae Mulli 66, 1391 (2016). 미소장
23 H. Jeon, C. Lee, C. B. Lee, M. Yang and S. N. Yi et al., J. Korean Phys. Soc. 67, 643 (2015). 미소장
24 H. Jeon, I. Jeon, G. S. Lee, S. G. Bae and H. S. Ahn et al., Jpn. J. Appl. Phys. 56, 01AD07 (2017). 미소장
25 G. S. Lee, C. Lee, H. Jeon, C. Lee and S. G. Bae et al., Jpn. J. Appl. Phys. 55, 05FC02 (2016). 미소장
26 I. Jeon, S. G. Bae, M. Yang, S. N, Yi and H. S. Ahn et al., New Phys.: Sae Mulli 67, 1058 (2017). 미소장
27 T. M. Al Tahtamouni, J. Li, J. Y. Lin and H. X. Jiang, J. Phys. D: Appl. Phys. 45, 285103 (2012). 미소장
28 K. A. Aissa, A. Achour, O. Elmazria, Q. Simon and M. Elhosni et al., J. Phys. D: Appl. Phys. 48, 145307 (2015). 미소장

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