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기사명/저자명
MOCVD로 성장한 β-Ga₂O₃박막에 대한 Mg 불순물 주입 효과 = The effects of Mg impurities on β-Ga₂O₃thin films grown by MOCVD / 박상훈, 이서영, 안형수, 유영문, 양민 인기도
발행사항
서울 : 한국결정성장학회, 2018.04.30
수록지명
한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology. 제28권 제2호 (2018년 4월), pp.57-62
자료실
[서울관] 정기간행물실(524호)  도서위치안내(서울관)
외부기관 원문
외부기관 원문
제어번호
KINX2018099456
주기사항
한국연구재단에서 제공한 KCI 등재학술(후보)지임
원문

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본 연구에서는 Mg acetate 수용액을 사용한 간편한 도핑방법으로 불순물을 주입하여 성장한 Ga₂O₃ 박막의 불순물 주입 효과에 대해 연구하였다. MOCVD 방법을 이용해 Si 기판 위에 undoped Ga₂O₃ 박막과 Mg-doped Ga₂O₃ 박막을 각각 600℃와 900℃의 성장온도에서 30분간 성장하였다. 표면 형상 분석 결과 Mg 불순물 주입에 따른 큰 차이는 확인되지 않았으며 900℃에서 성장한 박막의 표면이 600℃에서 성장한 박막의 표면보다 큰 거칠기를 가지고 다결정화 되는 것을 확인하였다. 광학적 특성 분석 결과, 도핑된 샘플의 경우 전체적인 발광 피크가 red shift 되었고 UV 방출 세기가 커지는 특성을 보였다. I-V 측정 결과로부터 Mg 불순물에 의해 600℃ 성장 박막의 누설전류가 감소하고, 900℃ 성장 박막의 광전류는 증가하는 효과를 확인하였다.

In this study, we investigated the impurity effect of Ga₂O₃ doped thin film by simple doping method using Mg acetate solution. Both undoped Ga₂O₃ thin films and Mg-doped Ga₂O₃ thin films were grown on Si substrates at 600 and 900℃ for 30 minutes by means of a customized MOCVD method. As a result of the surface analysis, there were no obvious morphological differences by Mg impurity implantation. The surface of the thin film grown at 900℃ was rougher than those grown at 600℃ and polycrystallization was achieved. As a result of the optical property analysis, in the case of the doped sample, the overall emission peak was red shifted and the UV radiation intensity was increased. As a result of the I-V curve, the leakage current of the 600℃ growth thin film decreased by the Mg impurity and the photocurrent of the growth thin film of 900℃ increased.

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MOCVD로 성장한 β-Ga₂O₃박막에 대한 Mg 불순물 주입 효과 = The effects of Mg impurities on β-Ga₂O₃thin films grown by MOCVD 박상훈, 이서영, 안형수, 유영문, 양민 pp.57-62 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 )
Convective heat and mass transfer affected by aspect ratios for physical vapor transport crystal growth in two dimensional rectangular enclosures Geug Tae Kim, Moo Hyun Kwon pp.63-68 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 )
Frit에서의 나노사이즈 α-Fe₂O₃입자의 결정 성장 = Crystal growth of nanosized α-Fe₂O₃particles in frit Hiroaki-Katsuki, 최은경, 이원준, 문원진, 김응수, 황광택, 조우석 pp.69-73 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 )
Mg 합금의 PEO 공정 조건에 따른 산화피막 결정상과 내부식성에 대한 연구= Correlation between crystalline phase and corrosion resistance of Mg alloy with different PEO conditions. 1, Crystalline phase . 1, 결정상 김배연, 김용남, 전민석, 함재호 pp.74-79 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 )
Mg 합금의 PEO 공정 조건에 따른 산화피막 결정상과 내부식성에 대한 연구= Corelation between crystalline phase and corrosion resistance of Mg alloy with different PEO conditions. 2, Corrosion resistance . 2, 내부식성 김배연, 김용남, 전민석, 함재호 pp.80-84 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 )
폐니켈수소전지로부터 희토류 산화물 분말의 회수에 대한 연구 = A study on recovery of rare earth oxide powders from waste NiMH batteries 안낙균, 김대원, 심현우, 박재훈, 박정진 pp.85-90 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 )
저온에서의 indium hydroxide에서 indium oxide로의 상전이 = Phase transition of indium hydroxide to indium oxide at low temperatures 최은경, 이원준, 한규성, 김응수, 김진호, 황광택, 황해진, 심광보, 조우석 pp.91-97 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 )

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