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기사명/저자명
Fabrication of Microholes in Silicon Wafers by Using Wet-Chemical Etching / Ha Young Lee, Ji-Yeon Noh, Min Sub Kwak, Kyung-Won Lim, Hyung Soo Ahn, Ji-Hoon Ahn, Sam Nyung Yi, Jungho Ryu 인기도
발행사항
서울 : 한국물리학회, 2018.08.31
수록지명
새물리 = New physics : 한국물리학회지. 제68권 제8호 (2018년 8월), p.834-838
자료실
[서울관] 정기간행물실(524호)  도서위치안내(서울관)
외부기관 원문
외부기관 원문
제어번호
KINX2018208306
주기사항
한국연구재단에서 제공한 KCI 등재학술(후보)지임
원문

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Contents

Fabrication of Microholes in Silicon Wafers by Using Wet-Chemical Etching / Ha Young Lee ; Ji-Yeon Noh ; Min Sub Kwak ; Kyung-Won Lim ; Hyung Soo Ahn ; Ji-Hoon Ahn ; Sam Nyung Yi ; Jungho Ryu 1

[요약] 1

I. INTRODUCTION 1

II. EXPERIMENT 2

III. RESULTS AND DISCUSSION 2

IV. CONCLUSION 4

REFERENCES 5

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기사명 저자명 페이지 원문 기사목차
양자얽힘 전파에서 복합 양자 복제기의 역할 = Role of Hybrid Cloners for Broadcasting Quantum Entanglement 임의순 p.921-927 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
고등학생의 물리 정체성과 이공계 진로 선택 = Korean High School Students' Physics Identities and STEM Career Aspirations 이나리, 강남화 p.899-908 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
2015 개정 교육과정 고등학교 물리 교과서에서 나타나는 양자역학에 관한 설명 분석 = Analysis of Explanations of Quantum Mechanics in Physics Textbooks According to the 2015 Revised Curriculum 조헌국 p.869-879 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
Fabrication of Microholes in Silicon Wafers by Using Wet-Chemical Etching Ha Young Lee, Ji-Yeon Noh, Min Sub Kwak, Kyung-Won Lim, Hyung Soo Ahn, Ji-Hoon Ahn, Sam Nyung Yi, Jungho Ryu p.834-838 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
Fe₂O₃ 다형체의 물성과 ε-Fe₂O₃ 박막의 성질 = Short Review on Fe2O3 Polymorphs and ε-Fe2O3 Thin Films 김헌정 p.819-828 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
다양한 발광 파장의 양자점을 첨가한 네마틱 액정의 전기 전도도 및 유전율 측정 연구 = Measurement of Electrical Conductivity and Dielectric Constant for Various Emission Wavelengths of Quantum-Dots-Doped Nematic Liquid Crystals 김건엽, 곽종훈 p.844-851 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
대전된 블랙홀의 축대칭 변형 = Axisymmetric Distortion of Charged Black Holes 박달호 p.928-933 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
레이저 가공에 의한 소수성과 친수성의 PMMA 마이크로 유체 채널 제작 = Laser-Fabricated Microfluidic Channels Consisting of Hydrophobic and Hydrophilic PMMA 이진호, 성정현, 임기수 p.934-938 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
웨이퍼 (wafer) 직접가열 방식에 따른 인산과 첨가제를 이용한 Si₃N₄ 박막 식각에 대한 연구 = A Study on Si₃N₄ Thin Film Etching with H₃PO₄ and Additives by Using Wafer Direct Heating 이승훈, 모성원, 이양호 p.852-856 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
Mn 불순물이 FeS의 결정학적 및 스핀회전 전이에 미치는 영향 = Effects of Maganese Impurity on the Crystallographic and Spin-Rotation Transitions in FeS 김응찬 p.829-833 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
힘-운동 물리 개념에 대한 대학 신입생들의 이해도 조사 = Investigation of College Students' Understanding of Physical Concepts in Force and Motion 김득수, 원기탁, 김국현, 이승현 p.880-888 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
학습 조력자 경험이 있는 예비교사들의 교육실습에서 나타난 교수행동 분석 = Analysis of Teaching Behavior in Pre-Service Teachers' Practicum with Learning Assistant Experiences 강호군, 이지원, 김중복 p.909-920 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
산화 실리콘의 결정화에 의한 다결정 실리콘의 형성 = Formation of Polycrystalline Silicon by Using the Crystallization of Silicon Oxide 윤종환 p.839-843 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
교육과정 변화에 따른 우리나라 중학생들의 TIMSS 2015 물리 영역의 성취 특성 분석 = Analysis of Features of Korean Eighth Grade Students' TIMSS 2015 Achievement in Physics due to Curriculum Change 곽영순, 이재봉 p.857-868 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기
중등 예비 과학교사들의 에너지 용어에 대한 활성화 단어 네트워크 분석 = Semantics Network Analysis of the Activation Words for 'Energy' Terminology Used by Secondary Pre-Service Science Teachers 송영욱 p.889-898 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 ) 보기

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참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 B. Liedberg, C. Nylander and I. Lundstrom, Sens. Actuators. 4, 299 (1983). 미소장
2 A. J. Haes and R. P. Van Duyne, Anal. Bioanal. Chem. 379, 920 (2004). 미소장
3 M. A. Seo, J. H. Kang, H. S. Kim, J. H. Cho and J. Choi et al., Sci. Rep. 5, 10280 (2015). 미소장
4 Y. M. Bahk, B. J. Kang, Y. S. Kim, J. Y. Kim and W. T. Kim et al., Phys. Rev. Lett. 115, 125501 (2015). 미소장
5 M. Najiminaini, F. Vasefi, B. Kaminska and J. J. L. Carson, Appl. Phys. Lett. 100, 043105 (2012). 미소장
6 C. Genet and T. W. Ebbesen, Nature Rev. 445, 39 (2007). 미소장
7 A. Lesuffleur, H. Im, NC. Lindquist and SH. Oh, Appl. Phys. Lett. 90, 243110 (2007). 미소장
8 J. Parsons, E. Hendry, C. P. Burrows, B. Auguie and J. R. Sambles et al., Phys. Rev. B. 79, 073412 (2009). 미소장
9 T. Sannomiya, O. Scholder, K. Jefimovs, C. Hafner and A. B. Bahlin, Small 7, 1653 (2011). 미소장
10 H. W. Huang, C. H. Lin, J. K. Huang, K. Y. Lee and C. F. Lin et al., Mater. Sci. Eng. B. 164, 76 (2009). 미소장
11 W. Zhou, G. Min, Z. Song, J. Zhang and Y. Liu et al., Nanotechnology 21, 205304 (2010). 미소장
12 S. Jeon, J. H. Jeong, Y. S. Song, W. L. Jeong and J. J. Kim et al., Nanoscale 6, 2642 (2014). 미소장
13 Y. C. Kim and Y. R. Do, Opt. Express 13, 1598 (2005). 미소장
14 J. H. Kim, J. K. Koh, B. G. Kim, J. H. Kim and E. Y. Kim, Angew. Chem. 124, 6970 (2012). 미소장
15 K. Q. Peng, X. Wang, L. Li, X. L. Wu and S. T. Lee, J. Am. Chem. Soc. 132, 6872 (2010). 미소장
16 S. E. Han and G. Chen, Nano Lett. 10, 1012 (2010). 미소장
17 M. K. Kim, H. Sim, S. J. Yoon, S. H. Gong and C. W. Ahn et al., Nano Lett. 15, 4102 (2015). 미소장
18 F. Lacour, N. Courjal, M. P. Bernal, A. Sabac and C. Bainier et al., Opt. Mater. 27, 1421 (2005). 미소장
19 J. Henzie, M. H. Lee and T. W. Odom, Nat. Nanotechnol. 2, 549 (2007). 미소장
20 M. H. Lee, M. D. Huntington, W. Zhou, J. C. Yang and T. W. Odom, Nano Lett. 11, 311 (2011). 미소장
21 J. Chen, J. Shi, D. Decanini, E. Cambril and Y. Chen et al., Microelectron. Eng. 86, 632 (2009). 미소장
22 Z. Li, Y. Gu, L. Wang, H. Ge and W. Wu et al., Nano Lett. 9, 2306 (2009). 미소장
23 K. Awazu, X. Wang, M. Fujimaki, T. Kuriyama and A. Sai et al., J. Vac. Sci. Technol. B 23, 934 (2005). 미소장
24 H. I. Smith and M. L. Schattenburg, IBM J. Res Develop. 37, 319 (1993). 미소장
25 Q. Guo, T. Tanaka, M. Nishio, H. Ogawa and X. Mei et al., Jpn. J. Appl. Phys. 41, L118 (2002). 미소장
26 S. Shingubara, O. Okino, Y. Murakami, H. Sakaue and T. Takahagi, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 1901 (2001). 미소장
27 H. Seidel, L. Csepregi, A. Heuberger and H. Baumgartel, J. Electrochem. Soc. 137, 3612 (1990). 미소장
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