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기사명/저자명
습식 화학적 식각 방법에 의한 시간에 따른 GaAs(100) 단결정 웨이퍼에서의 마이크로 구멍의 제작 및 분석 = Fabrication and time-dependent analysis of micro-hole in GaAs(100) single crystal wafer using wet chemical etching method / 이하영, 곽민섭, 임경원, 안형수, 이삼녕 인기도
발행사항
서울 : 韓國材料學會, 2019.03.27
수록지명
한국재료학회지 = Korean journal of materials research. 제29권 제3호 (2019. 3), p.155-159
자료실
[서울관] 정기간행물실(524호)  도서위치안내(서울관)
외부기관 원문
외부기관 원문
제어번호
KINX2019110275
주기사항
한국연구재단에서 제공한 KCI 등재학술(후보)지임
영어 요약 있음
원문

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Surface plasmon resonance is the resonant oscillation of conduction electrons at the interface between negative and positive permittivity material stimulated by incident light. In particular, when light transmits through the metallic microhole structures, it shows an increased intensity of light. Thus, it is used to increase the efficiency of devices such as LEDs, solar cells, and sensors. There are various methods to make micro-hole structures. In this experiment, micro holes are formed using a wet chemical etching method, which is inexpensive and can be mass processed. The shape of the holes depends on crystal facets, temperature, the concentration of the etchant solution, and etching time. We select a GaAs(100) single crystal wafer in this experiment and satisfactory results are obtained under the ratio of etchant solution with H₂SO₄:H₂O₂:H₂O = 1:5:5. The morphology of micro holes according to the temperature and time is observed using field emission - scanning electron microscopy (FE-SEM). The etching mechanism at the corners and sidewalls is explained through the configuration of atoms.

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기사명 저자명 페이지 원문 기사목차
전기 이중층 커패시터를 위한 다공성 탄소나노섬유의 메조 기공 제어 효과 = Mesoporous control effect of porous carbon nanofibers for electrical double-layer capacitors 조현기, 신동요, 안효진 p.167-174
극저온용 오스테나이트계 고망간강의 인장 및 충격 특성에 미치는 C, Mn, Al 첨가의 영향 = Effect of C, Mn and Al additions on tensile and charpy impact properties of austenitic high-manganese steels for cryogenic applications 이승완, 황병철 p.189-195
가공유기 마르텐사이트 변태를 갖는 합금의 감쇠능에 미치는 가공열처리의 영향 = Effect of thermo-mechanical treatment on the damping capacity of alloy with deformation induced martensite transformation 한현성, 강창룡 p.160-166
Effect of the thermal etching temperature and SiO₂/Al₂O₃ ratio of flexible zeolite fibers on the adsorption/desorption characteristics of toluene Sang Hyun Ji, Ji Sun Yun p.143-149
Effect of MnO2 and CuO addition on microstructure and piezoelectric properties of 0.96(K0.5Na0.5)0.95Li0.05Nb0.93Sb0.07O3-0.04BaZrO3 ceramics Kyung-Hoon Cho p.150-154
상온분말분사공정을 이용한 고밀도 폴리머-세라믹 혼합 코팅층 제조 및 에너지 저장 특성 향상 = Fabrication of high density BZN-PVDF composite film by aerosol deposition for high energy storage properties 임지호, 김진우, 이승희, 박춘길, 류정호, 최두현, 정대용 p.175-182
저온 티타늄 겔을 이용한 플렉시블 염료감응형 태양전지 = Flexible dye-sensitized solar cell using titanium gel at low temperature 지승환, 박현수, 김도연, 한도형, 윤혜원, 김우병 p.183-188
습식 화학적 식각 방법에 의한 시간에 따른 GaAs(100) 단결정 웨이퍼에서의 마이크로 구멍의 제작 및 분석 = Fabrication and time-dependent analysis of micro-hole in GaAs(100) single crystal wafer using wet chemical etching method 이하영, 곽민섭, 임경원, 안형수, 이삼녕 p.155-159 원문보기 (음성지원, 국회도서관 방문 후 이용 가능 )
산화아연 나노막대가 내장된 아산화구리 박막 구조를 이용한 산화물 광양극 제작 및 광전기화학적 특성 = Fabrication and photoelectrochemical properties of an oxide photoanode with zinc oxide nanorod array embedded in cuprous oxide thin film 민병국, 김효진 p.196-203
Evaluation of microstructure, phases, and mechanical properties of aged porcelain insulator Jun-Young Cho, Woo-Chan Jin, Sung-Hwan Bae, Chan Park p.137-142

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참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Micro- and nanopatterning techniques for organic electronic and optoelectronic systems. 네이버 미소장
2 Periodic nanohole arrays with shape-enhanced plasmon resonance as real-time biosensors 네이버 미소장
3 Localized surface-plasmon resonances in periodic nondiffracting metallic nanoparticle and nanohole arrays 네이버 미소장
4 Investigation of plasmon resonances in metal films with nanohole arrays for biosensing applications. 네이버 미소장
5 Plasmonic nanoparticle enhanced light absorption in GaAs solar cells 네이버 미소장
6 Vapor phase epitaxial growth and characterization of ZnS layer on GaAs substrate for LED application 네이버 미소장
7 Ion Beam Assisted Maskless Etching of GaAs by 50 keV Focused Ion Beam 네이버 미소장
8 Pressure and irradiation angle dependence of maskless ion beam assisted etching of GaAs and Si 네이버 미소장
9 Via holes for GaAs MMICs fabricated using reactive ion etching 네이버 미소장
10 Characteristics of gas-assisted focused ion beam etching 네이버 미소장
11 Reduction of induced damage in GaAs processed by Ga + focused‐ion‐beam‐assisted Cl 2 etching 네이버 미소장
12 Surface Organization and Nanopatterning of Collagen by Dip-Pen Nanolithography 네이버 미소장
13 Selective Si and Be implantation in GaAs using a 100 kV mass-separating focused ion beam system with an Au–Si–Be liquid metal ion source 네이버 미소장
14 Reactive ion etching of GaAs using a mixture of methane and hydrogen 네이버 미소장
15 J. L. Vossen and W. Kern, Thin film processes, p.403, J. L. Vossen, Academic press, London (1978). 미소장
16 J. S. Kim, Master Thesis (in Korean), p. 1-4, Korea Maritime and Ocean University, Busan (2004). 미소장
17 S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices, John Wiley, New York (2012). 미소장
18 H. Y. Lee, Master Thesis (in Korean), p. 59-60, Korea Maritime and Ocean University, Busan (2018). 미소장
19 Colloidal lithographic nanopatterning via reactive ion etching. 네이버 미소장
20 Thermochemical nanopatterning of organic semiconductors 네이버 미소장
21 Nanopatterning of fluorinated graphene by electron beam irradiation. 네이버 미소장
22 Nanopatterning of a silicon surface by near-field enhanced laser irradiation 네이버 미소장
23 Electromagnetic Saturation of Angstrom-Sized Quantum Barriers at Terahertz Frequencies. 네이버 미소장
24 Nano-hole array structure with improved surface plasmon energy matching characteristics 네이버 미소장
25 Light in tiny holes 네이버 미소장
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