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목차 1

니켈 소재 고세장비 디지털 PCR 파티션 제작을 위한 공정 기술 ＝ Process for the fabrication of nickel material high aspect-ratio digital PCR partition / 김기홍 ; 임형준 ; 권순근 ; 최학종 1

[요약] 1

1. 서론 1

2. 제작 공정 1

2.1. 마이크로 웰 패턴 설계 1

2.2. 마이크로 웰 제작 공정 2

2.3. 공정소재 2

3. 실험 및 고찰 2

3.1. Lift-off 공정 2

3.2. SU-8 Backside노광 공정 3

3.3. 전주도금 4

3.4. SU-8 제거 4

4. 결론 4

REFERENCES 5

[저자소개] 5

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
2자유도 착용형 상지 재활운동 로봇의 수동 모드 제어 = Passive mode control of 2 DOF wearable upper-limb rehabilitation robot 서우현, 최성식, 박훈민, 김태석, 오건영, 이학 p. 591-596

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고정밀 캘리브레이션 기반 단일 스마트폰을 이용한 공조기 벨트의 느슨함 원격 진단 = Remote diagnosis of air handling unit belt looseness using a smartphone based on high-accurate calibration 김정민, 김진, 박용화 p. 597-605

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박판 시편을 사용한 Split-Hopkinson Tensile Bar의 변형 영역에 대한 해석적 연구 = A numerical investigation of deformed region in plate specimen of Split-Hopkinson tensile bar 박병진, 김연복, 김정 p. 607-615

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시계열 데이터를 이용한 인공신경망 기반 공작기계 가공상태 모니터링 = Monitoring the machining state of machine tools using artificial neural networks with time-series data 김강석, 이득우 p. 617-624

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브레이징 장치 개발 및 이를 이용한 PCD 팁 접합 공구 제작 = Development of brazing device and fabrication of its PCD tip brazed cutting tools 사민우, 손호민, 박경환, 김동규 p. 625-631

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협소 공간 탐색을 위한 뱀형 로봇의 다중 센서 모듈 설계 및 운용 = Multi-sensor module design and operation of snake robot for narrow space exploration 신동관, 이명석, 김무림, 김성재, 서진호 p. 633-640

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노인 모니터링 시스템을 위한 열화상 이미지 기반 자세 인식 딥러닝 알고리즘 개발 = Development of a posture recognition deep learning algorithm based on thermal imaging for an elderly monitoring systems 남상민, 성동국, 조용운, 오도창 p. 641-646

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Piezoelectric actuator 기반 FSM의 동역학 모델 = Dynamic model of fast steering mirror based on piezoelectric actuator 박용수, 이지민, 최대규 p. 647-651

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메탄 화염을 이용한 수직형 버너리그 개발에 관한 연구 = Development of a vertical burner rig using methane flame 박수, 김대진, 김준영, 김성주, 이기용, 김정민, 김형익, 석창성 p. 653-661

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니켈 소재 고세장비 디지털 PCR 파티션 제작을 위한 공정 기술 = Process for the fabrication of nickel material high aspect-ratio digital PCR partition 김기홍, 임형준, 권순근, 최학종 p. 663-668

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참고문헌 (9건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Quan, P.-L., Sauzade, M., Brouzes, E., (2018), dPCR: A technology review, Sensors, 18(4), 1271. 미소장
2 Jang, M., Jeong, S. W., Bae, N. H., Song, Y., Lee, T. J., Lee, M. K., Lee, S. J., Lee, K. G., (2017), Droplet-based digital PCR system for detection of single-cell level of foodborne pathogens, Biochip Journal, 11(4), 329-337. 미소장
3 Kim, C. M., Kim, G. M., (2022), Development of multilayered droplet splitting microfluidic system for preparation of microdroplet, Journal of Korean Society for Precision Engineering, 39(6), 425-431. 미소장
4 Campo, A. D., Grenier, C., (2007), SU-8: a photoresist for highaspect-ratio and 3D submicron lithography, Journal of Micromechanics and Microengineering, 17(6), R81. 미소장
5 Kim, S. W., Kwon, J. Y., Hwang, J., Cho, Y. H., (2022), The Fabrication of a high-aspect-ratio microfluidic device for microparticle separation under viscoelastic fluid, Journal of Korean Society for Precision Engineering, 39(10), 725-730. 미소장
6 Kim, K., Park, D. S., Lu, H. M., Che, W., Kim, K., Lee, J.-B., Ahn, C. H., (2004), A tapered hollow metallic microneedle array using backside exposure of SU-8, Journal of Micromechanics and Microengineering, 14(4), 597-603. 미소장
7 Yang, R., Wang, W., (2005), A numerical and experimental study on gap compensation and wavelength selection in UVlithography of ultra-high aspect ratio SU-8 microstructures, Sensors and Actuators B: Chemical, 110(2), 279-288. 미소장
8 Kim, J. K., Thuwaini, H. A., Almuslem, M., (2018), Photolithography of SU-8 microtowers for a 100-turn, 3-D toroidal microinductor, Micro and Nano Systems Letters, 6, 14. 미소장
9 Lee, B. S., Han, J. W., Lim, J. S., Han, J. J., Kang, S. I., (2008), Micro electroforming of large area high aspect ratio micro patterns produced by micro machining process, Proceedings of the Korean Society for Precision Engineering Conference, 733-734. 미소장

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