(A) review: atomic layer etching of metals
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Yun Jong Jang, Hong Seong Gil, Gyoung Chan Kim, Ju Young Kim, Chang Woo Park, Do Seong Pyun, Ji Yeon Lee, Geun Young Yeom
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p. 125-139
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부식 방지제에 따른 코발트의 화학 기계적 연마 특성 및 표면 분석 = Investigation on the effect of corrosion inhibitor on removal rate and surface characteristic of cobalt chemical mechanical polishing
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정은수, 표성규
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p. 140-154
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열플라즈마를 이용한 탄소 나노 물질의 합성 및 특성에 관한 연구 = A study on the synthesis and characteristics of carbon nanomaterials by thermal plasma
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강성표, 김태희
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p. 155-164
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반도체 메모리 소자 제조에서 High Aspect Ratio Contact 식각 연구 동향 = Research trend of high aspect ratio contact etching used in semiconductor memory device manufacturing
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탁현우, 박명호, 이준수, 최찬혁, 김봉선, 장준기, 김은구, 김동우, 염근영
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p. 165-178
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Enhanced photocatalytic disinfection efficiency through TiO2/WO3 composite synthesis and heat treatment optimization
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Sang-Hee Kim, Seo-Hee Kim, Jun Kang, Myeong-Hoon Lee, Yong-Sup Yun
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p. 179-191
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구리 배관의 Sn 첨가에 따른 응력 및 다양한 환경에서의 부식 특성 = Corrosion characteristics in stress and various environments with Sn addition to Cu pipe
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김세림, 김의준, 이명훈, 이승효
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p. 192-200
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Al6061 합금의 양극산화 봉공 처리 방법에 따른 양극산화 피막의 내화학 특성 비교 = Comparison of chemical resistance properties of anodized film according to anodized sealing treatment method of Al6061 alloy
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한영욱, 이상섭, 이준석, 장기범, 조성열
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p. 201-207
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식각공정의 신뢰성 향상을 위한 모니터링 기술에 관한 연구 = A study on monitoring technology to improve the reliability of etching processes
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김경남
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p. 208-213
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단일벽 탄소나노튜브를 이용한 리튬이온전지용 실리콘-흑연 기반 복합전극 설계 = Design of silicon-graphite based composite electrode for lithium-ion batteries using single-walled carbon nanotubes
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최진영, 최정민, 이승효, 강준, 김대욱, 김혜민
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p. 214-220
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전해연마를 이용한 STS 304의 부식방지 효과 연구 = Study on corrosion resistance enhancement in STS 304 through electrochemical polishing
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오재환, 김우혁, 조혜원, 곽병관, 윤상화, 유봉영
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p. 221-224
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