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[표제지 등]
BIBLIOGRAPHIC DATA SHEET
제출문
요약문
SUMMARY
칼라
목차
제1장 서론 11
제2장 이론 12
제1절 실리콘의 응력-변형률 12
제2절 다이아프램 응력 분포 18
제3절 압저항(Piezoresistance) 24
제3장 압력센서 제작 31
제1절 센서설계 및 포토마스크 제작 31
제2절 제조공정 34
제3절 실리콘 식각(Etching) 37
제4절 패키지 42
제4장 실험 결과 및 논의 51
제5장 결론 60
참고문헌 62
[실리콘 저항형 압력센서의 온도보상에 관한 연구] 65
요약문 67
SUMMARY 69
목차 73
제1장 서론 75
제2장 이론 77
제1절 실리콘 압력 센서의 종류 77
제2절 압저항형 압력 센서 79
제3절 다이아프램의 응력분포 80
제4절 압저항 압력센서특성의 열화요인 83
제5절 브릿지형 압력센서 84
제6절 온도 보상 이론 87
제3장 실험 및 측정 88
제1절 소자의 설계 및 마스크 제작 88
제2절 제조공정 88
제3절 식각공정 92
제4절 측정 방법 94
제5절 압력센서의 회로도 94
제4장 결과 및 고찰 97
제5장 결론 110
참고문헌 111
[title page etc.]
[Contents]
Study of Temperature Compensation of Silicon Piezoresistive Pressure Sensor 65
Contents
Chapter 1. Introduction 75
Chapter 2. Theory 77
Section 1. Type of Silicon Pressure Sensors 77
Section 2. Piezoresistive Pressure Sensor 79
Section 3. Stress Distribution of Diaphragm 80
Section 4. Limits of Piezoresistive Pressure Sensors 83
Section 5. Bridge Type Pressure Sensor 84
Section 6. Theory of Temperature Compensation 87
Chapter 3. Experiments and Measurements 88
Section 1. Design of Piezoresistive Pressure Sensors and Mask Patterns 88
Section 2. Fabrication Processes 88
Section 3. Etching Process 92
Section 4. Measurement Methods 94
Section 5. Circuits of Pressure Sensors 94
Chapter 4. Results and Discussion 97
Chapter 5. Conclusion 110
References 111
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