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요약문
SUMMARY
목차
제1장 서론 12
제2장 이론 13
제1절 Ion Gage의 기본원리 및 gauge 내부의 전위 분포에 따른 전자 및 이온의 운동. 13
제2절 잔류전류 19
제3절 Modulated 이온 게이지의 원리 22
제3장 게이지 및 콘트롤러 제작 25
제1절 게이지의 제작 25
제2절 콘트롤러 제작 28
제4장 측정 43
제1절 측정장치 43
제2절 측정방법 44
제5장 결과 및 논의 48
제6장 결론 62
참고문헌 63
[title page etc.]
Contents
Chapter 1. Introduction 12
Chapter 2. Theory 13
Section 1. Basic Theory of Ion Gages and charged particles'motion under the potential distribution of ion gauge 13
Section 2. Sources and types of residual currents 19
Section 3. Basic theory of modulated ion gauge 22
Chapter 3. Design and Construction of Gage Head and Controller 25
Section 1. Construction of gage 25
Section 2. Construction of controller 28
Chapter 4. Measurements 43
Section 1. Measurement System 43
Section 2. Measurement(Measurment) Procedures 44
Chapter 5. Results and Discussions 48
Chapter 6. Conclusions 62
References 63
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