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제출문
SUMMARY
요약문
칼라
목차
제1장 서론 13
1-1. 연구개발의 목적 13
1-2. 연구의 범위 14
제2장 향후반도체 제조공정 및 동향 15
2-1. 미세가공을 위한 주요한 요소 및 장래기술 16
2-1-1. 요소기술 16
2-1-2. 장래 기술 동향 17
2-2. CLEAN ROOM에 관한 대책 19
제3장 종래의 CLEAN ROOM SYSTEM 및 문제점 20
3-1. clean room system의 분류 20
3-2. clean room system의 문제점 24
제4장 SMIF SYSTEM의 적용 연구 26
4-1. SMIF system의 개요 26
4-1-1. SMIF system의 특징 28
4-1-2. SMIF system의 구성 29
4-1-3. SMIF system의 적용범위 34
4-2. SMIF enclosure의 개념설계 36
4-3. 향후과제 46
제5장 CLEAN자동이송장치 개발 48
5-1. 자동이송장치의 개념정립 48
5-2. 기본설계 58
5-2-1. 특징 58
5-3. 향후과제 59
제6장 ULTRA C/R내의 정전기 제어기술개발 60
6-1. 정전기의 발생과 영향 60
6-1-1. 정전기의 발생 60
6-1-2. 정전기의 영향 63
6-2. C/R내의 정전기 제어기술 66
6-2-1. 접지에 의한 정전기 제어 66
6-2-2. 중화에 의한 정전기 제어 68
6-3. ULTRA C/R내의 정전기 제어기술 고찰 72
6-3-1. Air Ionization System의 종류와 특성 72
6-3-2. Air Ionization System의 제전효과 75
6-3-3. Air Ionization System의 particle발생 억제장치 79
6-3-4. ultra C/R용 정전기 제어장치 개념설계 83
제7장 결론 88
참고문헌 89
[title page etc.]
Contents
Chapter 1. Introduction 13
Section 1. The purpose of research 13
Section 2. The scope of research 14
Chapter 2. The fabrication process of semiconductor and the future tendency 15
Section 1. The main element and the future technology for detailed manufacturing 16
1-1. Elemental technology 16
1-2. Technological tendency in the future 17
Section/Sectioin 2. Countermeasure on clean room 19
Chapter 3. The existing clean room system and problem 20
Section 1. Classification 20
Section 2. Problem 24
Chapter 4. Research for the application(applicatioin) of SMIF system 26
Section 1. The outline of SMIF system 26
1-1. Characteristic 28
1-2. Composition 29
1-3. Application(Applicatioin) scope 34
Section 2. The concept design of SMIF enclosure 36
Section 3. A task in the future 46
Chapter 5. Development of auto clean transfer device 48
Section 1. Introduction 48
Section 2. Basic design 58
2-1. Characteristic 58
Section 3. A task in the future 59
Chapter 6. The development of electrostatic control technology(technilogy) in ultra clean room 60
Section 1. The generation and influence of static electricity 60
1-1. Generation 60
1-2. Influence 63
Section 2. The control technology of static electricity in clean room 66
2-1. Earthing 66
2-2. Neutralization 68
Section 3. Discussion 72
3-1. The kind and characteristic of air ionization system 72
3-2. Control effectiveness 75
3-3. Particle control system 79
3-4. Concept design 83
Chapter 7. Conclusion 88
Reference 89
Nomenclature
제1장 서론 102
제1절 연구배경 및 목적 102
제2절 연구범위 104
제2장 차세대 클린룸의 조건 및 설계 105
제1절 차세대 클린룸의 조건 105
제2절 차세대 클린룸의 설계 107
2-1. 인간적인 설계 107
2-2. I L 4 H 설계 108
제3장 국소 청정 장치내의 정전기 제어 기술 111
제1절 정전기에 의한 미립자 부착과 오염 111
1-1. ESD에 의한 디바이스 파괴 115
1-2. 인체의 정전기 전위와 정전용량 115
1-3. ESD CONTROL 118
1-4. 대전된 웨이퍼로의 부유 미립자 부착 118
1-5. 대전된 웨이퍼로의 미립자 부착 실험과 이론적인 계산 119
1-6. 이온을 사용한 대전된 웨이퍼의 중화 133
제2절 밀폐형 국소 청정 장치내의 정전기 제어 139
2-1. 실험 방법 140
2-2. 결과 및 검토 142
2-3. 결론 156
제4장 국소 청정 장치의 개발 160
제1절 서론 160
1-1. 국소 청정 장치의 개요 160
1-2. 연구목적 및 방법 161
제2절 국소 청정 장치의 기본 설계 163
2-1. 국소 청정 장치의 기류 제어 163
2-2. 국소 청정 장치의 설계 변수 168
제3절 국소 청정 장치의 제작 169
3-1. 장치의 개략도 169
3-2. 실험 장치의 구조 172
제4절 실험 장치의 실험 및 결과 176
4-1. 국소 청정 장치의 실험 변수 및 실험 방향 176
4-2. 실험 방법 178
4-3. 국소 청정 장치의 실험 내용 180
4-4. 국소 청정 장치의 실험 결과 및 고찰 185
제5절 국소 청정 장치의 성능 고찰 및 결론 212
5-1. 국소 청정 장치의 성능 고찰 212
5-2. 결론 217
제5장 결론 219
Chapter 1. Introduction 102
Section 1. The background and purpose of research 102
Section 2. The scope of research 104
Chapter 2. The Condition and design of future clean room 105
Section 1. The Condition of future clean room 105
Section 2. The design of future clean room 107
2-1. Human design 107
2-2. IL4H design 108
Chapter 3. The control technology of static electricity within local clean system 111
Section 1. The particle adhesion and the influence due to static electricity 111
Section 2. The control technology of static electricity within closed type local clean system 139
2-1. Neutralization method to make use of ultraviolet light 140
2-2. Conclusions 142
Chapter 4. The development of local clean system 160
Section 1. Introduction 160
1-1. Outline of local clean system 160
1-2. Purpose and method of research 161
Section 2. The basic design of local clean system 163
2-1. Air flow control of local clean system 163
2-2. Design factor of local clean system 168
Section 3. The manufacture of local clean system 169
3-1. Plan of local clean system 169
3-2. Structure of local clean system 172
Section 4. The experiment and result of local clean system 176
4-1. Experiment factor and direction of local clean system 176
4-2. Experiment method of local clean system 178
4-3. Experiment contents of local clean system 180
4-4. Experiment results of local clean system 185
Section 5. The performance consideration of local clean system and conclusions 212
5-1. Performance consideration of local clean system 212
5-2. Conclusions 217
Chapter 5. Conclusions 219
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