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[표제지 등]
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요약문
SUMMARY
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List of Figure
목차
제1장 서론 13
제2장 외부잡음 15
제1절 외부잡음 15
제2절 외부잡음의 상쇄방안 16
1. 헬름홀쯔 코일의 설계 16
2. Active Shielding 기술 20
제3장 Gradiometer 21
제1절 Gradiometer 21
1. Axial gradiometer 22
2. Planar gradiometer 22
3. Balance 24
제2절 SQUID gradiometer 시스템의 설계 및 제작 25
1. SQUID gradiometer의 설계 25
2. Readout system 29
3. SQUID의 I-V 특성조사 31
제4장 제작공정의 개선방안 34
제1절 제작공정 개선방안 연구 34
제2절 Reactive Ion Etching 시스템의 설치 및 시험가동 35
제5장 결론 37
참고문헌 38
부록 39
[title page etc.]
Contents
Chapter 1. Introduction 13
Chapter 2. Ambient noise 15
Section 1. Ambient noise 15
Section 2. Cancellation of ambient noise 16
1. Design of Helmholtz coil 16
2. Active shielding technique 20
Chapter 3. Gradiometer 21
Section 1. Gradiometer 21
Section 2. Design and construction of SQUID gradiometer system 25
1. Design of SQUID gradiometer 25
3. I-V Characterization 31
Chapter 4. Program for advanced process 34
Section 1. Program for advanced process 34
Section 2. Installation of RIE 35
Chapter 5. Conclusion 37
Reference 38
Appendix 39
Table 1. Specifications of the 3 axes Helmholtz coils 19
Table 2. Designed values of Nb／A1-A10x(이미지참조)／Nb Josephson junction 28
Table 3. Designed values of the SQUID gradiometers. 28
Table 4. Etching condition used for Nb etching 36
Table 5. SiO₂ deposition condition using PECVD 36
Fig.1-1. Typical amplitude and frequency range for various biomagnetic effects ［3］. 14
Fig.2-1. Field noise spectra in various environments, expressed as the rms field within 1 Hz bandwidth at each frequency ［3］. 16
Fig.2-2. Illustration of a circular Helmholtz coil pair. 17
Fig.2-3. Ambient field at our laboratory. (a) Time variation of earth static field variation, (b) Field noise spectrum at our laboratory. 18
Fig.2-4. Axial field deviation along the r axis at the six different z values from the center of the Helmholtz coil pair. 19
Fig.3-1. Detection coils used with a SQUID system. (a) Magnetometer, (b) 1st order gradiometer, (c) Asymmetrical 1st order gradiometer, (d) 2nd order gradiometer, (e) off-diagonal gradiometer, (f) superconducting flux transformer magnetically coupled to the SQUID. 21
Fig.3-2. Configurations of planar gradiometer sensitive to ∂Bz(이미지참조)／∂x. (a) Parallel loop gradiometer, (b) Series loop gradiometer. 23
Fig.3-3. Double loop SQUID configurations for gradiometer design. (a) Symmetric 2-hole SQUID, (b) Figure-8 SQUID 24
Fig.3-4. Schematic drawing of complete photomasks 26
Fig.3-5. Equvivalent circuit diagrams of the SQUID gradiometers. (a) parallel gradiometer, (b) series gradiometer, (c) double transformer SQUID. 27
Fig.3-6. Recently developed dc SQUID readout systems. 29
Fig.3-7. SQUID swing voltage depending on magnetic flux (a) dc SQUID without APF, (b) dc SQUID with APF 30
Fig.3-8. DOIT readout system for standard dc SQUID sensors. 32
Fig.3-9. Microphotographs of the completed SQUIDs. (a) symmetric 2-hole SQUID, (b) figure-8 SQUID. 33
Fig.4-1. Modified fabrication process. 35
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