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요약문
SUMMARY
칼라
목차
제1장 서론 14
제2장 이론 16
제1절 이온 게이지의 기본 원리 16
제2절 게이지의 기본형태 21
제3절 잔류전류(Residual current) 26
제4절 Modulation 방법 28
제3장 게이지 및 콘트롤러제작 34
제1절 게이지 제작 35
제2절 Controller 제작 36
제4장 실험 방법 및 측정 46
제5장 결과 및 논의 51
제1절 Extractor Gage 의 교정 51
제2절 Modulation Factor 및 X-ray Current 의 결정 51
제6장 결론 65
참고문헌 66
Appendix[원문불량;p.56~61] 68
[title page etc.]
Contents
Chapter 1. Introduction 14
Chapter 2. Theory 16
Section 1. Basic theory of ion gauge 16
Section 2. Basic types of ion gauge 21
Section 3. Residual current 26
Section 4. Modulation technique 28
Chapter 3. Construction of Gauge Head and Controller 34
Section 1. Construction of gage head 35
Section 2. Construction of controller 36
Chapter 4. Experimental Method and Measurements 46
Chapter 5. Results and Discussions 51
Chapter 6. Conclusions 65
References 66
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