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SUMMARY
칼라
목차
제1장 서론 10
제1절 비정질 태양전지용 투명전도막 10
제2절 투명전도막의 필요특성 11
제2장 ZnO 막의 특성 및 제조방법 15
제1절 ZnO박막의 일반적 특성 15
1. 구조적 특성 15
2. 전기적 특성 16
3. 광학적 특성 19
제2절 코팅막의 제조방법. 24
제3절 코팅막의 선정 28
제3장 DCMS법에 의한 ZnO:Al막 제조실험 30
제1절 ILS 1600 system 개요 30
제2절 실험방법 35
제4장 DCMS법으로 제막된 ZnO:Al 41
제1절 증착속도 41
제2절 광학적 특성 46
1. 열처리전 광학적 특성 46
2. 열처리후 광학적 특성 55
제3절 전기적 특성 63
1. 열처리전 전기적 특성 63
2. 열처리후 전기적 특성 72
제4절 XRD에 의한 구조적 특성 78
제5장 Pyrosol법에 의한 ZnO:Al막 제조실험 88
제1절 실험장치소개 및 실험조건 88
1. 실험장치 설명 88
2. 실험 변수 89
제2절 ZnO박막의 특성 측정방법 92
제6장 Pyrosol법에 의한 제조실험결과 및 토의 95
제1절 용매에 따른 ZnO박막의 특성 변화 95
제2절 반송가스에 따른 특성 변화 99
제3절 열처리 효과 (annealing effect ) 108
제4절 불순물 첨가 효과 (Doping effect) 112
제5절 막두께에 따른 ZnO:Al박막의 특성 변화 118
제6절 수소 플라즈마에서의 내구성 127
제7장 결론 129
제1절 DCMS법에 의한 ZnO:Al막 형성 129
제2절 Pyrosol법에 의한 ZnO:Al막 형성 132
참고문헌 133
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