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SUMMARY
칼라
목차
제1장 서론 8
제2장 실험 11
제1절 시편 준비 11
제2절 p-GaAs전극 및 WO₃/GaAs 이형접합전극 제조 11
제3절 광전기 화학 실험 장치 12
제4절 광전기 화학 변환 특성 측정 15
1. 백색광 조사시 광변환 특성 측정 15
2. 단색광 조사시 광변환 특성 측정 15
제5절 정전용량 측정 17
제6절 WO₃박막의 화학 분석 및 표면 분석 17
제7절 WO₃박막의 두께 측정 18
제8절 WO₃박막의 전기적 성질 측정 18
제3장 결과 및 고찰 19
제1절 WO₃박막 특성 분석 19
1. WO₃박막의 결정 구조 19
가. 후열처리 온도에 따른 WO₃박막의 XRD 분석 19
나. 증착된 WO₃박막 두께에 따른 XRD분석 19
다. 예상되는 lattice mismatch 22
2. WO₃박막의 미세 구조 24
3. WO₃박막의 성분 및(성분및) 기판과의 계면 분석 26
4. WO₃박막의 전기적 성질 34
제2절 광전기 화학 변환 특성 34
1. 광전류-전압 특성 34
가. WO₃/p-GaAs 이형접합전극의 열처리 온도에 따른 광전류-전압 특성 34
나. WO₃/p-GaAs 이형접합 전극의 WO₃박막 두께 변화에 따른 광전류-전압 특성 38
다. p-GaAs전극과 WO₃/p-GaAs 이형접합전극의 광전류-전압 특성 비교 40
2. 광전류-파장 특성 42
3. 광효율 계산 45
4. 정전용량 측정 47
가. p-GaAs전극의 정전용량 측정 47
나. WO₃/p-GaAs 이형접합 전극의 정전 용량 49
5. 플랫 밴드 전위 측정 52
가. p-GaAs전극의 플랫 밴드 전위 측정 52
나. 이형접합전극의 플랫밴드 전위 측정 55
제4장 결론 58
참고문헌 59
부록 67
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