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Summary
목차
제1장 서론 : 기술동향 분석 9
제2장 태양전지제조 단위공정개발 15
제1절 a-Si 박막 제조 15
제2절 레이저 식각[원문불량;p.18,25,29] 20
제3절 금속전극 제조 38
제3장 대면적 단접합 태양전지개발 39
제1절 특성의 균일성 및 재현성 39
제2절 고효율화 49
제4장 Tandem cell 시제작 63
제1절 비정질 실리콘 tandem 태양전지 설계 63
제2절 Tandem cell 시제작 79
제5장 결론 85
부록 : Tandem cell 기초연구 결과 87
목차 89
제1장 서론 91
제2장 이론 93
제1절 증착 기제(Deposition mechanism) 93
제2절 A-Si:H의 빛 조사에 의한 열화현상 93
제3장 실험방법 97
제1절 이중실 RPCVD장치 97
제2절 SiH₂Cl₂를 이용한 a-Si:H(:Cl)시료 제작 97
제3절 A-Si:H(:Cl)박막의 특성 측정 방법 99
제4장 결과 및 논의 101
제1절 A-Si:H(:Cl)의 전기적 및 광학적 특성 분석 101
제5장 미세결정질 실리콘 149
제6장 결론 169
참고문헌 171
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