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SUMMARY
목차
제1장 서론 19
제2장 연구 추진 방법 23
제1절 Sol-gel Ta₂O5(이미지참조) pH-ISFET의 제조 23
제2절 Sol-gel NAS glass Na-ISFET의 제조 29
1. 시약 및 장치 29
2. Sol-gel법에 의한 NAS glass의 합성 30
3. NAS glass의 특성 조사 및 성분 분석 34
4. NAS glass Na-ISFET의 제조 및 측정 34
5. NAS glass Na-ISFET의 감응특성 및 선택계수 조사 36
제3절 사진식각(Photolithography) 실험 및 재료 40
1. 사진식각법 실험 설계 40
2. 사진식각법용 감광액의 제조 40
3. 분석 및 측정 장치 44
제3장 결과 및 고찰 49
제1절 Sol-gel Ta₂O5(이미지참조) 분석 및 고찰 49
1. Ta₂O5(이미지참조) 물성분석 49
2. Ta₂O5(이미지참조) pH-ISFET의 특성평가 및 분석 55
제2절 Sol-gel NAS glass Na-ISFET의 특성 조사 63
1. NAS glass의 특성조사 63
2. NAS glass Na-ISFET 센서의 동작 특성조사 65
3. Na-ISFET의 감응특성 68
제3절 사진식각법에 의한 감지막의 제조 및 특성 평가 78
1. 감광액의 사진식각 공정 성질 80
2. 사진식각법에 의한 센서의 특성 82
제4장 결론 91
제5장 참고문헌 95
제6장 인쇄식 감지막형성기술에 의한 FET 혈액 전해질 센서 개발 99
제1절 서론 99
제2절 실험 방법 100
1. ISFET의 제조 100
2. 이온감지막의 인쇄 101
3. 이온 선택 감지막의 제조 105
4. 특성측정 107
제3절 연구결과 및 고찰 113
1. pH-ISFET의 기본동작특성과 pH 감응특성 113
2. Ion-selective membrane 의 개발 113
3. 혈청중에서의 K+-ISFET(이미지참조)의 감응특성 조사 124
제4절 결론 129
제5절 참고문헌 130
[title page etc.]
Contents
Chapter 1. Introduction 19
Chapter 2. Experiment 23
Section 1. Fabrication of sol-gel Ta₂O5(이미지참조) pH-ISFET 23
Section 2. Fabrication of sol-gel NAS glass Na-ISFET 29
1. Materials and equipments 29
2. Synthesis of NAS glass by Sol-gel method 30
3. Investigation and component analysis of NAS glass 34
4. Fabrication and measurement of NAS glass Na-ISFET 34
5. Investigation on the sensing characteristic and selectivity of NAS glass Na-ISFET 36
Section 3. Experiment and material for photolithography 40
1. Photolithography process 40
2. Preparation of photopolymer for photolithography 40
3. Equipments for analysis and measurement 44
Chapter 3. Results and Discussion 49
Section 1. Analysis and discussion on sol-gel Ta₂O5(이미지참조) 49
1. Characterization of sol-gel Ta₂O5(이미지참조) 49
2. Evaluation and analysis of sol-gel Ta₂O5(이미지참조) pH-ISFET 55
Section 2. Characteristics investigation of sol-gel NAS glass Na-ISFET 63
1. Investigation of NAS glass 63
2. Evaluation of sol-gel NAS glass Na-ISFET 65
3. Sensing Characteristics of Na-ISFET 68
Section 3. Fabrication and characteristics evaluation of sensing membrane by photolithography method 78
1. Photolithography process properties of photopolymer 80
2. Sensing characteristics of the sensor with photopolymeric matrix 82
Chapter 4. Conclusion 91
Chapter 5. References 95
Chapter 6. Development of FET type blood electrolyte sensor by screen printing method 99
Section 1. Introduction 99
Section 2. Experimental method 100
1. Fabrication of ISFET 100
2. Screen printing of ion sensing membrane 101
3. Formation of ion selective sensing membrane 105
4. Measurements 107
Section 3. Results and Discussion 113
1. Sensing characteristics of pH-ISFET 113
2. Development of ion selective membrane 113
3. Investigation on sensing characteristics of K-ISFET in the blood 124
Section 4. Conclusion 129
Section 5. References 130
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