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SUMMARY
Contents
목차
제1장 서론 21
제2장 연구 추진 방법 31
제1절 연구 개발 추진 체계 31
제2절 기초 연구 32
1. 수광 전극 제조 32
2. 초전 특성 측정 37
제3절 소자 제조 연구 44
1. 적외선의 응용과 적외선 센서 44
2. 초전 세라믹스 소자 제조 52
3. 소자 특성 측정 56
제3장 연구 결과 및 고찰 58
제1절 수광 전극 58
1. 음극 전류 효율 58
2. 수광층의 결정성과 현미경 조직 59
3. 수광층의 수광 효율 61
제2절 측정 시스템의 calibration 61
제3절 소자 제조 62
1. PZMN-PT 세라믹스의 초전 특성 62
2. 금 전극의 제조 63
제4절 소자 특성 63
1. 출력 신호 63
2. 전압 응답성 (Rv) 65
3. 전류 응답성 (Ri) 67
4. 임피던스 변환 회로 68
5. 이중 소자 69
제5절 연구 개발 성과 69
1. 초전 재료 69
2. 연구 개발 결과 발표 69
제6절 제 2,3단계 연구 개발 추진 방향 73
제4장 결론 75
1. 소결 공정, 박막 제조, 세라믹스 초전체 개발 75
2. 소자 제조 과정 75
3. 초전 소자의 특성 76
4. 보층 연구 내용 76
제5장 참고 문헌 77
위탁과제 보고서 132
위탁과제 1. BST계 센서용 소결체 제조와 특성 평가 132
위탁과제 2. 박막형 DB 모드 적외선 센서의 개발 174
위탁과제 3. DB 모드를 이용한 BST계 센서 양산 연구 250
위탁과제 4. DB 모드를 이용한 BST계 센서 시스템 개발 266
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