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Summary
칼라
목차
제1장 태양전지제조 단위공정 개발 9
제1절 n형 미세결정질 실리콘 박막 개발 9
제2절 레이저 식각공정 개선 15
제3절 Al 층 레이저 식각 19
제4절 Al 전극 제조공정 개선 21
제2장 단접합 태양전지 성능향상 23
제1절 p층 제조조건 개선 23
제2절 p／i buffer층 제조조건 개선 29
제3절 미세결정질 실리콘 n층 적용 33
제4절 단접합 태양전지 제조조건의 최적화 36
제3장 대면적 tandem 태양전지 성능향상 39
제4장 모듈 Encapsulation 공정 개발 43
제1절 Bus Bar 형성 43
제2절 밀봉 44
제3절 단자연결 46
제5장 결론 49
부록 : Tandem cell 기초연구 결과 51
목차 53
제1장 서론 55
제2장 이론 59
제1절 이온샤우어 도핑［17,18,19］ 59
제2절 전기전도도 61
제3절 미세결정질 실리콘 박막의 증착 원리 63
제4절 미세결정질 실리콘의 전기적 특성 64
제5절 태양전지의 특성 66
제3장 실험 방법 및 장치 71
제1절 이온샤우어 도핑 시스템 71
제2절 미세결정질 실리콘의 증착 76
제3절 이온샤우어를 이용한 태양전지의 제작 77
제4장 결과 및 논의 81
제1절 증착 온도에 따른 미세결정질 실리콘 박막의 특성 81
제2절 가스 유량비에 따른 미세결정질 실리콘 박막의 특성 96
제3절 미세결정질 실리콘 박막의 이온도핑 효과 101
제4절 비정질 실리콘의 이온샤우어 도핑 107
제5절 이온샤우어를 이용하여 제작된 태양전지의 특성 107
제5장 결론 119
REFERENCES 123
[A list of submitted patents] 127
[A list of published papers (G-7 지원 표시)] 128
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