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제출문
보고서 초록
요약문
SUMMARY(영문요약문)
CONTENTS
목차
제1장 연구개발과제의 개요 14
제1절 연구개발의 목적 14
제2절 연구개발의 필요성 14
제3절 연구개발의 범위 15
1. 연차별 연구 목표 및 범위 15
2. 세부연구목표 및 평가의 착안점 16
3. 연구범위 및 연구수행 방법 17
제2장 국내외 기술개발 현황 18
제1절 연도별 국가별 다이아몬드 박막 관련 출원동향 18
제2절 나노 다이아몬드 박막 관련 중요 특허동향 18
제3절 DC PACVD에 의한 다이아몬드 박막합성기술 관련특허동향 19
제4절 다이아몬드 표면탄성파 소자기술 특허동향 19
제3장 연구개발수행 내용 및 결과 22
제1절 연구수행 내용 및 결과 요약 22
제2절 NCD 박막 증착공정 핵심기술 28
제3절 NCD 증착 공정 보완 기술 51
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 82
제1절 연구목표의 달성도 82
제2절 관련분야 기술발전에의 기여 83
제5장 연구개발결과의 활용계획 86
제1절 개발된 기술의 시장성 및 경제성 86
제2절 기업화 추진 방안 87
제3절 추가 연구의 필요성 88
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 90
제7장 참고문헌 92
그림 1. 알곤계를 탈피한 소스가스에 불활성인 전극재질을 발굴하고, positive column이 없이 음극 및 양극표면의 glow만으로 가동하는 근접 전극방식으로, 장시간 안정성, 파워 절감, 용전극 물질 불순물유입 차단, 입도 나노화를 구현한 나노다이아몬드 증착용 dc plasma CVD 가동 장면.... 24
그림 2. 안정화된 dc plasma 공정으로 증착한 두께 17㎛의 나노다이아몬드 후막 판단면.... 24
그림 3. 경면성 나노다이아몬드 박막이 코팅된 4인치 Si 웨이퍼의 문자열 경면반사 모습.... 24
그림 4. 해외 선두그룹인 미 Argonne National Lab.의 특허기술인 마이크로웨이브 공정으로 제조된 8인치 나노다이아몬드 코팅 웨이퍼.... 24
그림 5. 본 연구의 나노다이아몬드 박막의 HR-TEM사진... 25
그림 6. 해외 선두그룹인 미 Argonne National Lab. 그룹 특허기술인 마이크로웨이브 공정으로 증착된 나노다이아몬드(브랜드명 UNCD) 박막의 HR TEM 사진.... 25
그림 7. 그림 5의 나노다이아몬드 박막 HR-TEM 미세조직의 결정립계들 중의 하나를 관통하는 직선을 따라 멀티-스캔한 EELS(Electron Energy Loss Spectroscopy) 패턴.... 25
그림 8. 본 연구에서 제조된 나노다이아몬드 박막의 SAED 패턴.... 25
그림 9. 본 연구에서 실리콘 기판에 20㎛ 두께로 코팅된 나노다이아몬드 막의 XRD (X선 회절) 패턴.... 26
그림 10. 본 연구에서 제조된 나노다이아몬드 박막의 NEXAFS ( Near-Edge X-ray Absorption Fine Structure ) 분석 결과.... 26
그림 11. DC Plasma공정으로 증착한 나노다이아몬드 박막으로 가공한 free-standing cantilever (길이 500 ㎛, 두께 1 ㎛).... 26
그림 12. 알미늄 IDT (압전신호전달 전극)/ZnO(압전층)/조도를 제어한 경면성 나노다이아몬드 박막(탄성파 전달층, ad-sep.상태이며 연마를 하지않음)/실리콘(지지기판) 순으로 적층 제조된 표면탄성과 필터소자의 표면 SEM 사진 26
그림 13. 나노다이아몬드박막의 표면조도가 너무클 경우, 평면성이 교란된 부위에 증착된 ZnO압전박막의 주상결정의 성장방향이 틀어짐으로써 글 c 축 배향성이 손상되는 양태를 보여주는 단면 미세조직(맨위부터 ZnO, 조도가 큰 다이아몬드막, 실리콘 기판순으로 적층됨) 27
그림 14. 본 연구에서 증착한 경면성 나노다이아몬드 박막 상에 성막된 ZnO 박막의 C 축 배향성 (XRD).... 27
그림 15. LiTiO3 압전체형 SAW 필터 (중심 주파수 100 MHz) 구조에서 탄성파전달을 나노다이아몬드박막으로 대체한 테스트 소자의 주파수 파형.... 27
그림 16. ZnO압전체 소우필터(좌)의 전달층을 나노다이아몬드박막층으로 대체한 필터소자(우)의 주파수대역 비교.... 28
【도 1】 47
【도 2】 48
【도 3】 49
【도 4】 50
【도 1】 72
【도 2】 73
【도 3】 74
【도 4】 75
【도 5】 76
【도 6】 77
【도 7】 78
【도 8】 78
【도 9】 79
【도 10】 80
【도 11】 81
원문구축 및 2018년 이후 자료는 524호에서 직접 열람하십시요.
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