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자료명/저자사항
전자빔 조사에 의한 Pt, Tio₂코팅필름의 광학특성 연구 / 과학기술부 인기도
발행사항
[과천] : 과학기술부, 2008
청구기호
전자형태로만 열람가능함
자료실
해당자료 없음
형태사항
56장 : 삽화, 도표 ; 30 cm
제어번호
MONO1200818423
주기사항
주관연구기관: 동신대학교 산학협력단
단면인쇄임
주관연구책임자: 전진
원문
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보고서 초록

요약문

SUMMARY

CONTENTS

목차

제1장 연구개발과제의 개요 10

1. 연구개발의 목적 10

2. 연구개발의 필요성 10

제2장 국내외 기술개발 현황 13

1. 국내의 기술개발 현황 13

2. 국외의 기술개발현황 14

제3장 연구개발수행 내용 및 결과 15

1. 연구개발 내용 15

2. 연구 결과 23

제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 61

1. 최종 목표 61

2. 당해 단계목표 및 달성도 61

제5장 연구개발결과의 활용계획 62

제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 64

제7장 참고문헌 65

표 1. TiO₂와 Pt/TiO₂에 조사된 전자빔 조사 조건 19

Table 2. 전자빔 조사선량에 따른 TiO₂와 Pt/TiO₂ 박막의 결정크기 변화 23

그림 1. TiO₂와 Pt/TiO₂ 박막의 제조 방법 16

그림 2. 전자빔 조사 트랙 및 전자빔 조사장치 18

그림 3. 전자빔 처리된 TiO₂와 Pt/TiO₂ 박막에서 benzene의 분해율 측정을 위한 실험장치 22

그림 4. 전자빔 선량을 달리하여 조사한 TiO₂와 Pt/TiO₂ 박막의 XRD pattern 24

그림 5. 전자빔 처리전과 1.1 MeV 300kGy의 선량으로 처리된 TiO₂와 Pt/TiO₂ 박막의 AFM 사진 26

그림 6. 전자빔 처리전과 1.1 MeV 300kGy의 전자빔으로 조사된 TiO₂ 박막의 TEM 사진 28

그림 7. 전자빔 조사량에 따른 TiO₂ 박막의 SEM 사진 29

그림 8. 전자빔 처리전과 1.1 MeV 300kGy의 선량으로 처리된 Pt/TiO₂ 박막의 TEM 사진 31

그림 9. Pt/TiO₂ 박막에 전자빔 조사 후 생성된 새로운 층에 대한 EDX 분석 32

그림 10. 전자빔 선량을 달리하여 처리한 Pt/TiO₂박막의 SEM 사진 33

그림 11. 전자빔 조사선량에 따른 TiO₂ 박막의 XPS spectra;... 35

그림 12. TiO₂ 박막에 조사한 전자빔 조사선량에 따른 TiO₂ 박막표면에서 C/Ti, O/Ti 비율 변화 36

그림 13. 전자빔 조사선량에 따른 TiO₂ 박막의 XPS spectra;... 38

그림 14. Pt/TiO₂ 박막에 조사한 전자빔 조사선량에 따른 Pt/TiO₂ 박막표면에서 C/Ti, O/Ti, Pt/Ti 비율 변화 39

그림 15. TiO₂ 박막의 Ti2p XPS narrow scan에 대한 peak fitting... 41

그림 16. TiO₂ 박막에서 전자빔 조사선량에 따른 Ti의 산화상태(Ti4+, Ti3+)변화(이미지참조) 42

그림 17. Pt/TiO₂ 박막의 Ti2p XPS narrow scan에 대한 peak fitting... 44

그림 18. Pt/TiO₂ 박막에서 전자빔 조사선량에 따른 Ti의 산화상태(Ti4+, Ti3+)변화(이미지참조) 45

그림 19. Pt/TiO₂ 박막의 Pt4f의 XPS narrow scan에 대한 peak fitting... 47

그림 20. Pt/TiO₂ 박막에서 전자빔 조사선량에 따른 Pt4f의 Pt0, PtO₂, Pt(OH)₂, PtCl2-6의 정량적 변화(이미지참조) 48

그림 21. TiO₂ 박막과 TiO₂-300 박막의 UV/Vis 영역에서 투과율 50

그림 22. Pt/TiO₂ 박막과 Pt/TiO₂-300 박막에서 UV/Visible 영역에서 투과율 51

그림 23. 전자빔으로 조사된 TiO₂ 박막에서 파장에 따른 굴절률 변화 53

그림 24. 전자빔으로 조사된 Pt/TiO₂ 박막에서 파장에 따른 굴절률 변화 54

그림 25. TiO₂와 Pt/TiO₂ 박막의 소멸계수(extinction coefficient) 55

그림 26. 전자빔 조사선량에 따른 TiO₂와 Pt/TiO₂ 박막의 굴절률과 porosity(589 nm)] 56

그림 27/26. 전자빔으로 조사된 TiO₂ 박막에서 benzene의 광분해 58

그림 28/27. 전자빔으로 조사된 Pt/TiO₂ 박막에서 benzene의 광분해 59

그림 29/28. 전자빔 조사선량에 따른 TiO₂와 Pt/TiO₂ 박막에서 benzene의 광분해율에 대한 속도상수(min-1(이미지참조)) 60

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