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제출문
최종연구보고서 초록
요약문
SUMMARY(영문요약문)
CONTENTS(영문목차)
목차
제1장 연구개발과제의 개요 8
기술적 측면 8
경제·산업적 측면 8
사회·문화적 측면 8
제2장 국내·외 기술개발 현황 10
(1) 외국의 경우 10
(2) 국내의 경우 10
(3) 조사한 연구개발사례에 대한 자체분석 및 평가결과 10
가/나. 세부 기술사항의 검토 분석결과 10
(1) 국내·외 세부기술 수준 비교표 10
(2) 공정단위별 주요 기술(技術)내용 및 그 기술수준의 분석 결과 10
(3) 기존 공정방법·기술에 대한 현황 조사·분석 10
제3장 연구개발수행 내용 및 결과 12
1) LAMOX 및 ZnO 합성 12
(1) LAMOX 합성 12
(2) ZnO 박막 제조 14
2) LAMOX 및 ZnO 재료 특성 분석 17
1. LAMOX 재료 특성 분석 17
2. ZnO 재료 특성 분석 22
3) LAMOX의 중성자 회절 분석 24
제4장 연구개발 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 27
가. 최종 목표 27
나. 당해 단계목표 및 달성도 27
제5장 연구개발결과의 활용계획 28
표1. LSMCVD 장비를 이용한 중간체 및 증착 조건 15
Fig. 1. Synthesis of La₂-xPrxMo₂O9(이미지참조) by solid state method 13
Fig. 2. LSMCVD(Liquid Source Misted Chemical Vapor Depositon) 장비 14
Fig. 3. LSMCVD 장비를 이용한 ZnO 박막 제조 방법 15
Fig. 4. Images of ZnO on Si wafer. 16
Fig. 5. XRD analysis of La₂-xPrxMO₂O9(이미지참조) (0≤x≤0.6). 17
Fig. 6. Lattice parameter of La₂-xPrxMO₂O9(이미지참조)(0≤x≤0.4) 18
Fig. 7. Ion conductivity analysis of LAMOX. 19
Fig. 8. DSC analysis of La₂-xPrxMO₂O9(이미지참조). 20
Fig. 9. TEC coefficient analysis for LAMOX. 21
Fig. 10. 열처리 온도에 따른 표면 분석 사진 22
Fig. 11. 열처리 온도에 따른 ZnO의 구조 분석 자료 23
Fig. 12. 열처리 온도에 따른 비저항 측정 자료 23
Fig. 13. 상온에서의 La₂-xPrxMo₂O9(이미지참조) (x=0, 0.3, 0.6) 중성자 회절 결과. 24
Fig. 14. La1.4Pr0.6Mo₂O9(이미지참조) 시료의 상온과 800 ℃에서의 중성자 회절 결과. 25
Fig. 15. 상온에서의 La₂-xPrxMo₂O9(이미지참조) (x=0, 0.3, 0.6) 중성자 회절 결과. 26
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