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보고서 초록
요약문
SUMMARY
CONTENTS
목차
제1장. 연구개발과제의 개요 8
제2장. 국내외 기술개발 현황 9
제3장. 연구개발수행 내용 및 결과 10
제1절. 블록공중합체 박막내의 계면활성제 분포 분석 10
제2절. 다층박막의 팽윤특성 분석 20
제4장. 목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 26
제1절. 당해 연구 목표 및 달성도 26
제2절. 관련 분야에의 기여도 27
제5장. 연구개발결과의 활용계획 28
1. 기술적 측면 28
2. 경제·사회적 측면 28
제6장. 연구개발과정에서 수집한 해외 과학기술정보 및 참고문헌 29
표 1. [PAH/(PSS:PMAA=X:Y)]10(이미지참조) 다충박막에서 PSS와 PMAA의 용액내에서와 다층박막내에서의 조성 비교. 21
표 2. 상대습도에 따른 [PAH/(PSS:PMAA=X:Y)]10(이미지참조) 다층박막에서 X:Y=100:0, 90:10, 50:50, 0:100 일 경우의 두께 변화비율. 24
그림 1. 블록공중합체 박막의 나노구조 및 배향에 미치는 열역학적 인자들과 기판위에서 형성된 블록공중합체 박막의 나노 구조들 11
그림 2. 계면활성제를 통한 블록 공중합체 나노구조의 제어 12
그림 3. 여러 가지 방법을 통한 계면활성제로 형성된 블록 공중합체 박막 구조의 분석 13
그림 4. 계면활성제를 통한 블록공중합제 박막의 GISAXS 패턴 분석 결과. 수평구조와 수직구조가 혼재함을 알 수 있음. 15
그림 5. 완전히 중수소화된 계면활성제를 포함한 블록 공중합체 박막의 열처리 시간에 따른 중성자반사율 결과.... 16
그림 6. 계면활성제를 포함한 한쪽 블록에만 중수소화된 볼록 공중합체 박막의 중성자반사율 결과.... 18
그림 7. 계면활성제 방법과 EUV 패턴을 통한 배향 방법을 결합하여 두꺼운 블록 공중합체 박막에서도 수직배향이 패턴을 통하여 형성됨을 나타낸 FE-SEM 이미지. 19
그림 8. [PAH/(PSS:PMAA=X:Y)]10(이미지참조) 다층박막에서 PMAA의 조성에 따른 두께 변화 23
그림 9. 상대습도에 따른 [PAH/(PSS:d-PMAA=50:50)]10(이미지참조) 다층박막의 중성자 반사율 측정 결과 25
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