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보고서 초록
요약문
SUMMARY
CONTENTS
목차
제1장 연구개발과제의 개요 13
가. 연구기술의 필요성 13
(1) 기술적 측면 13
(2) 경제, 사회적 측면 14
(3) 사회, 문화적측면 14
나. 최종 목표 14
1. 양성자 및 중성자빔 조사에 의한 IZO 박막의 특성 변화에 관한 원인 규명 15
2. 양성자 및 중성자 빔 조사된 IZO 박막의 채널층 적용 가능성 평가 15
3. 산화물 반도체 기반의 트랜지스터의 안정성 향상 15
제2장 국내외 기술 개발 현황 16
가. 국외 기술 현황 16
나. 현기술상태의 취약성 18
제3장 연구개발 수행 내용 및 결과 20
가. 양성자 빔 조사를 통한 IZO 박막의 특성 조절 20
나. 양성자 빔 조사에 의한 IZO 박막 트랜지스터의 특성 평가 27
다. 중성자 빔 조사를 통한 IZO 박막의 특성 조절 34
라. 중성자 빔 조사에 의한 IZO 박막트랜지스터의 특성 평가 39
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 43
가. 단계목표 및 달성도 43
제5장 연구개발 결과의 활용계획 45
가. 당해연도 활용계획 45
나. 활용방법 45
다. 차년도 이후 활용계획 46
라. 기대효과 47
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술 정보 48
제7장 참고문헌 50
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