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보고서 초록
요약문
SUMMARY
CONTENTS
목차
제1장 연구개발과제의 개요 12
제2장 국내외 기술개발 현황 13
제3장 연구개발 수행 내용 및 결과 14
제1절 CdS, CuCl 양자구슬 및 Ge/Si(100) 시료의 제작 14
1. PVA-CdS의 제작 조건 및 과정 14
2. PVA-CdS-2-ME, CdS-2-ME의 제작 조건 및 과정 18
3. Ge/Si(100) SAQD의 제작 조건 및 과정 21
4. RF magnetron sputtering에 의한 CuCl 양자구슬의 제작 과정 22
제2절 전자빔 조사 전의 시료의 물성 측정 결과 23
1. PVA-CdS 양자구슬의 측정 결과 23
2. PVA-CdS-2-ME 및 CdS-2-ME의 양자 구슬의 측정 결과 31
3. CuCl 양자 구슬의 측정 결과 36
4. Ge/Si(100)의 AFM 측정 결과 39
제3절 전자빔의 조사가 시료들의 물성에 미치는 영향 평가 41
1. 전자빔을 조사한 PVA-CdS 양자 구슬 41
2. 전자빔을 조사한 PVA-CdS-2-ME 양자 구슬 49
3. SEM 측정 결과 53
4. 전자빔을 조사한 Ge/Si(100) 및 Si/Ge/Si(100)의 표면 morphology 변화 57
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 59
제5장 연구개발결과의 활용계획 60
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외 과학기술정보 61
제7장 참고 문헌 63
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