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보고서 요약서
요약문
SUMMARY
CONTENTS
목차
제1장. 연구개발과제의 개요 11
제1절. 전자 소자 산업의 경향 및 나노 임프린트 기술의 수요와 현 기술적 한계 11
제2장. 국내외 기술개발 현황 14
제3장. 연구개발수행 내용 및 결과 15
제1절. 나노 임프린트 제조 공정을 이용한 금속/고분자 미세회로 제조 15
1. 표면 개질 및 도금 공정을 통한 금속/고분자층 제조 연구 15
2. 광리소 그래피 공정을 이용한 금속/고분자 미세 패터닝 기술 개발 23
3. 금속 층의 기계적 특성 26
제2절. Microelectroforming 공정을 이용한 금속 stamp 및 mold 제조 28
1. Microelectroforming 공정을 이용한 Ni stamp 제조 연구 28
2. DFR strip 공정 연구 29
제4장. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 33
제5장. 연구개발결과의 활용계획 34
제6장. 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 35
제1절. 광학 링 레조네이터 35
제2절. 광 결정(Photonics crystal) 소자 35
제7장. 참고문헌 37
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