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SUMMARY
목차
제1장 연구개발과제의 개요 6
1.1. 개요 6
1.2. 태양전지용 UMG 실리콘 기판의 게터링 공정 7
제2장 국내외 기술개발 현황 9
2.1. 국내 현황 9
2.2. 국외 현황 9
제3장 연구개발수행 내용 및 결과 10
3.1. 게터링 공정에 따른 기판 내 불순물 분포 simulation 10
3.1.1. Defect state에 따른 태양전지 효율 분석 10
3.1.2. 게터링 공정에 따른 실리콘 기판 내부의 불순물 밀도 변화 13
3.1.3. 게터링 공정에 따른 태양전지의 효율 변화 14
3.2. UMG 실리콘 기판의 게터링 공정 17
3.2.1. P-diffusion / etch-back 공정 17
3.2.2. 기판 lifetime의 측정 18
3.2.3. 게터링 공정에 따른 UMG 기판의 lifetime 분석 19
3.2.4. Fe 불순물의 밀도 분석 19
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 21
제5장 연구개발결과의 활용계획 22
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 23
제7장 참고문헌 24
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