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SUMMARY
CONTENTS
목차
제1장 서론 15
제1절 연구개발 목적 15
제2절 연구개발 필요성 17
1. 기술적 측면 17
2. 경제적·산업적 측면 19
3. 군사적 측면 22
제3절 연구개발 범위 23
제2장 국내외 기술개발 현황 24
제1절 국·내외 관련분야에 대한 기술개발현황 24
제2절 국내·기술 동향 25
1. 대학 및 연구기관 25
2. 국내기업 25
제3절 국외·기술 동향 및 수준 28
1. 국외 기술 현황 28
2. 해외 대학 및 기업의 대표적 논문 30
제4절 연구결과가 국·내외 차지하는 위치 33
제3장 연구개발 수행 내용 및 결과 34
제1절 연구개발 수행 내용 34
1. 최종 개발목표 및 평가항목 34
2. 개발범위 및 내용 35
제2절 구조설계 및 마스크 제작 36
1. 민수용 RF MEMS Switch 36
2. 군수용 10W RF MEMS switch 설계 41
3. 패키지 구조 설계 63
제3절 소자 단위 공정 개발 72
1. RF MEMS Switch 단위 공정 개발 72
2. 패키지 단위 공정 개발 85
3. 고전력·저손실 접점부 단위 공정 개발 99
제4절 RF MEMS Switch 제작 121
1. RF MEMS Switch 공정 개발 121
2. 군수용 RF MEMS switch 공정 개발 125
3. 패키지 공정 142
4. 스위치 구동 드라이버 개발 152
제5절 RF MEMS Switch 측정 154
1. RF 측정 환경 구성 154
2. RF 성능 측정 155
3. 반복신뢰성 기술 확보 161
4. 반복수명 166
제4장 연구개발 목표 달성도 및 대외기여 171
제1절 개발 완료된 RF MEMS Switch 이미지 171
제2절 연구개발목표 달성도 171
제3절 대외 기여도 172
1. 세계 최고 수준의 해외 제품과 비교 172
2. 적용성 174
3. RF MEMS Switch TRM 적용시 장점 187
제5장 연구개발결과의 활용계획 191
제1절 연구수행에 따른 문제점 및 개선방향 191
제6장 참조문헌 193
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