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표제지
목차
보고서초록 3
요약문 4
SUMMARY 5
제1장 서론 8
제2장 3차원 태양전지용 기판 제조 및 증착 공정 기술 11
1. 양극산화 알루미늄을 이용한 3차원 기판 제조 11
2. 실리콘 기판을 이용한 3차원 기판 제조 13
3. 전극 증착 공정 13
4. 실리콘 박막 증착 공정 15
제3장 3차원 태양전지의 제조 결과 및 고찰 18
1. 3차원 태양전지의 제조 18
2. 3차원 태양전지의 구조 설계 19
3. 낮은 입사각 광 조사 조건에서의 특성 개선 22
4. 3차원 AAO 기판 태양전지의 특성 24
제4장 결론 및 제언 26
1. 결론 26
2. 제언 26
제5장 참고문헌 29
표 1. 증착 조건에 따른 PECVD Si 및 photo-CVD의 증착 프로파일의 정량화 결과. 각 파라미터의 정의는 그림 7에서 정의된 것과 같다. 17
표 2. 3D Si 태양전지와 3D AAO 태양전지의 특성 비교. 25
그림 1. 벌집 구조 (좌) 및 벌집 구조에 형성된 태양전지에 빛이 입사했을 때 입사 각에 따른 광 경로를 나타낸 그림 (우). 9
그림 2. 양극 산화 알루미늄 기판을 이용한 3차원 기판 형성 공정. 양극산화 알루미늄 기판에 마스크 형성 (좌), 용액 식각법으로 마스크 없는 부분의 양극산화 pore 제거 (중), 양극 산화 pore 제거 후 최종 단면 구조. 11
그림 3. 양극산화 알루미늄의 단면 형상. 수십 나노미터 크기의 pore array가 관측 된다 (좌). 패터닝 공정이 완료된 3차원 기판의 형상 (우). 12
그림 4. 3D AAO 기판 위에 형성한 태양전지의 증착 프로파일 및 초기 확보 효율. 12
그림 5. 실리콘을 이용하여 제작한 3차원 기판의 형상. (가) 위에서 본 모습 (나) 옆면 형상 (다) 아랫면 형상. 13
그림 6. 3D Si 기판위에 증착한 박막의 단면 프로파일. 스퍼터링으로 증착된 ZnO와 PECVD로 증착된 Si이 나타나 있다. 옆면과 바닥면에 증착된 ZnO의 두께가 윗면에 증착된 ZnO 두께와 비교 했을 때 40% 가량의 두께를 나타낸다. 붉은 색 화살표는 스퍼터링으로 증착된... 14
그림 7. MOCVD 법으로 증착한 ZnO 증착 프로파일. 윗면 두께 (t)에 대한 다른 면들의 두께 (s, m, b)의 두께가 100% 가량으로 평가되었다 15
그림 8. 3D Si 기판 위에 Al과 MOCVD ZnO (단, (가)와 (나) 는 sputter ZnO가 증착된 시료들임)를 증착하고 비정질 실리콘 태양 전지층 (n type amorphous Si/ intrinsic amorphous Si/ p type amorphous SiC)을 증착한 후 sputter ZnO로 상부 전극을 형성한 태양전지의 단면 형상... 16
그림 8. 3차원 태양전지의 제조 공정 및 제조 완료된 태양전지의 모습. 사진에서 사각형 패턴들이 단일 태양전지를 나타내고, 단위 셀의 면적은 0.09 cm2 이다. 측정을 위해 다이에 본딩된 모습이 촬영되어 있다. 18
그림 9. p 형 비정질 SiC 층의 두께에 따른 태양전지의 특성 변화. 속이 찬 기호는 3D Si 기판, 속이 빈 기호는 평평한 기판 위에 태양전지를 형성한 경우이다. 붉은색 화살표로 각각의 기판 위에 형성된 태양전지의 최적 p 층의 두께를 표시하였다. 19
그림 10. 3D 태양전지의 i 층 두께에 따른 특성 변화. p 층의 두께는 25nm로 고정하였다. 21
그림 11. 평판 태양전지와 3D 태양전지의 특성 비교. 각각 최적의 p 층 두께를 적용하였고 (평판 태양전지의 p 층 두께는 15nm, 3D 태양전지의 p 층 두께는 25nm), i 층의 두께는 200nm로 고정하였다. 3D 태양전지의 경우 i 층 두께는 옆면과 아래면의 두께를 200nm 로 맞추었다... 21
그림 12. 평판 태양전지와 3D 태양전지의 광 입사각 및 입사광 파장에 따른 광 전류의 변화. 22
그림 13. 광 입사각이 40도인 경우 (가)와 60도인 경우 (나)의 입사광의 파장에 따른 광 전류의 비교. 23
그림 14. 광 전류를 정규화 하여 나타낸 그림. 점선은 코사인 커브를 나타냄. 23
그림 15. 3D Si 태양전지와 (검은색) 3D AAO 태양전지 (붉은색)의 특성 비교. (가) 광 전류-전압 특성. (나) 암 전류-전압 특성. (다) External quantum efficiency. 24
그림 16. 용액공정을 이용한 3차원 기판의 태양전지 박막 코팅 공정의 개념도. 장기적인 개발 전략이 필요한 분야. 27
그림 17. 수백 나노미터 피치 (pitch)를 가지는 나노콘 (nanocone)의 형상을 가지는 기판 형상 (우). 기판 형상에 따른 입사광 각도별 흡수도를 나타낸 그림 (좌). 단기적인 개발 성공 가능성이 높은 분야. 28
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