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PZT로 구동되는 회전 스테이지의 오차 운동 분석 / 김진호 ; 신동익 ; 윤덕원 ; 한창수 ; 이상무 ; 남경태 1
Abstract 1
1. 서론 1
2. 이론적 배경 2
3. 측정 장치 구성 2
4. 실험결과 및 고찰 3
5. 결론 4
참고문헌 5
권호기사
참고문헌 (6건) : 자료제공( 네이버학술정보 )
| 번호 | 참고문헌 | 국회도서관 소장유무 |
|---|---|---|
| 1 | Donaldson R. R., (1972) A Simple Method for Separating Spindle Error from Test Ball Roundness Error, CIRP-Annals | 미소장 |
| 2 | (1985) Axes of Rotation: Methods for Specifying and Testing Standard, ANSI/ASME B89.3.4M | 미소장 |
| 3 | Spragg R. C., (1970) New unified approach to surface metrology, Proc Inst. Mech. Engrs | 미소장 |
| 4 | Yun D., (2005) Development of Manipulator for Handling Micro Components in Vacuum, KSMTE Spring Conference 2005 | 미소장 |
| 5 | An investigation of non-repeatable spindle runout  |
미소장 |
| 6 | Whitehouse, D. J., (1976) Some Theoretical Aspects of Error Separation Techniques in Surface Metrology, Phys. E: Sci. Inst | 미소장 |
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