본문 바로가기 주메뉴 바로가기
22대 대한민국 국회 국회정보길라잡이 국회의원검색
회원가입 로그인
HOME

정보검색

소장정보 검색

국회도서관 홈으로 정보검색 소장정보 검색
결과 내 검색 동의어 포함
결과 내 검색 동의어 포함

-

초록보기

반도체 공정에서 배출되는 미세입자를 포집하기 위하여 전기집진장치가 적용되고 있으나, 배출가스 내 포함된 강부식성 오염원에 의한 전기집진장치 내부 오염 및 부식 문제가 심각하여, 이를 해결하기 위한 방안이 절실하다. 본 연구에서는 탄소섬유로 이루어진 하전부와 PET 필름 사이에 금속 박막이 삽입된 집진부로 이루어진 내부식 전기집진장치를 개발하여, 하전부 및 집진부 인가전압, 처리유량, 하전부 채널 수 등의 운전 조건에 따른 전기집진기의 초미세입자 집진 성능을 평가하였다. 평균입경이 100 nm인 KCl 입자를 시험입자로 사용하였으며, 전기집진기 전/후단 입자 농도 변화를 측정하기 위하여 SMPS를 사용하였다. 본 연구에서 개발된 9채널 하전부와 65 mm 집진부로 구성된 전기집진기의 성능평가 결과, 500 m3 /hr 유량조건에서 하전부 및 집진부에 7 kV와 10kV를 각각 인가하였을 때, 300 nm입자에 대한 포집효율이 90% 이상으로 높게 나타났다.

Electrostatic precipitators (ESPs) used currently in industries for removing fine particles from semiconductors have to be made of expensive anticorrosive metallic materials in order to maintain their particle-removal performance. To satisfy the economical demands of industries, a novel ESP was developed; in this ESP, the charger is made of carbon fibers and collection plates consist of PET films among which an aluminum sheet is inserted. The ESP was evaluated by changing the voltages applied to the chargers and collection plates, flow rates, and number of charging channels. KCl particles with mean diameters of 100 nm were used, and a scanning mobility particle sizer was used to measure the changes in particle number concentrations upstream and downstream of the ESP. The experimental results showed that more than 90% of the particles were removed by using the ESP containing ionizers with nine channels and 65-mm collection plates at 500 m3/hr when voltages of 7 kV and 10kV were applied to the ionizers and collection plates, respectively.

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
열펌프의 고장감지 및 진단시스템 구축을 위한 실시간 정상상태 진단기법 개발 김민성 ; 윤석호 ; 김민수 pp.333-339

부탄 개질기 운전조건에 따른 SOFC 시스템 효율에 대한 연구 김선영 ; 백승환 ; 배규종 ; 배중면 pp.341-347

수치해석을 통한 PEMFC 채널의 설계와 SU-8을 이용한 채널 제작 및 성능 평가 최인재 ; 왕학민 ; 최갑승 ; 김형만 pp.349-354

침입자 탐지용 인공 유동감지모의 응답 모델링 박병규 ; 이준식 pp.355-364

제트 혼합 반응기 내 희박 예혼합 메탄-공기 연소의 NO 생성 예측을 위한 화학 반응기 모델링 이보람 ; 박정규 ; 이도용 ; 이민철 ; 박원식 pp.365-373

촉매연소를 이용한 동심 원관형 반응기 내의 수증기 개질 반응에 관한 실험적 연구 강태규 ; 유상석 ; 김용모 ; 안국영 pp.375-381

소규모 산업 폐열회수용 열전발전시스템의 출력 특성에 관한 실험적 연구 정재훈 ; 김우철 ; 이진호 ; 유태우 pp.383-390

액체질소를 이용한 산화제펌프의 극저온 성능시험 김진선 ; 홍순삼 ; 김대진 ; 최창호 ; 김진한 pp.391-397

질소 희석된 프로판 자유제트 층류부상화염에 있어서 화염 자기진동 특성에 관한 연구 윤성환 ; 박정 ; 권오붕 ; 배대석 pp.399-408

다공 동축 버너를 이용한 순산소 연소에서 CO₂ 첨가가 화염에 미치는 영향에 관한 실험적 연구 김승환 ; 박장희 ; 이대근 ; 신현동 pp.409-416

저온 디젤 연소에서 발생하는 탄화수소 종 분석 한만배 pp.417-422

고내구성 하전 및 집진 방식 전기집진기의 미세입자 제거 특성 김학준 ; 한방우 ; 홍원석 ; 신완호 ; 송동근 ; 정상현 ; 김용진 ; 오원석 ; 황규동 ; 유성연 pp.423-428

감육예측 및 수치해석 기법을 활용한 소구경 탄소강배관 감육영향 분석에 관한 연구 이대영 ; 황경모 ; 진태은 ; 박원 ; 오동훈 pp.429-435

수치해석 기법을 활용한 FAC 예측 프로그램 보완 황경모 ; 진태은 ; 박원 ; 오동훈 pp.437-442

추진제 공급압력이 액체로켓엔진의 성능에 미치는 영향 조원국 ; 박순영 ; 남창호 ; 김철웅 pp.443-448

참고문헌 (7건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 An Experiment on Particle Collection and Gas Removal in a 2-Stage Electrostatic Wet Scrubber 소장
2 Wet electroscrubbers for state of the art gas cleaning. 네이버 미소장
3 Hwang, S.C., Yoon, S.H., Han, B. and Kim, Y.J., 2005, "A Study on the Characteristics for the Collecting Mist of Hybrid ElectrostaticPrecipitator Using Dielectric Coagulation System,"Proceeding of the 39th meeting of Korean Society for Atmospheric Environment, PD11, pp. 429~431. 미소장
4 White smoke emission from a semiconductor manufacturing plant 네이버 미소장
5 Unipolar Charging of Fine and Ultra-Fine Particles Using Carbon Fiber Ionizers 네이버 미소장
6 A novel bipolar charger for submicron aerosol particles using carbon fiber ionizers 네이버 미소장
7 Hinds, W.C., 1999, Aerosol Technology, Awiley-Interscience Publication, New York, pp. 316~345 미소장

추천서가 (다양한 추천 자료를 만나보세요)

권호기사보기

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 기사목차