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Recently PZT is used in ultra precision mechanism field. PZT has a small motion range although it has a high resolution. Many methods, such as inchworm, impact driving, etc., have been applied for the expansion of the motion range.In this study, the new actuating mechanism for rotational motion with two PZT actuators is proposed. The ultra precision rotational actuator which is made by proposed mechanism is able to operate both coarse and fine motion. The design parameters of the proposed mechanism are considered to improve the performance of the system. The rotational stage which is applied by the proposed mechanism is fabricated. The resolution and velocity for fabricated rotational stage are measured by laser interferometer.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
AC Servo Motor와 Ball screw를 이용한 정밀 위치제어시스템의 기계적 특성 분석 및 개선 진경복, 고수창 pp.31-36

플라스마 처리가 유기발광다이오드의 특성에 미치는 영향 장지근, 김민영, 안종명, 신세진 pp.23-26

고정밀 얼라인을 위한 하이브리드 조작 장치의 개발 이응기, 김숙한, 이동은 pp.1-6

접촉형 변위센서를 이용한 LCD노광기용 스테이지 시스템 서화일, 김광선, 조현찬, 임광국, 강흥석 pp.7-10

자외선 피코초 레이저를 이용한 low-k 웨이퍼 인그레이빙 특성에 관한 연구 문성욱, 남기중, 배한성, 홍윤석, 곽노흥 pp.11-15

와이어 본더에서의 초저 루프 기술 곽병길, 박영민, 국성준 pp.17-22

기가헤르츠 오실레이터를 위한 BN 나노튜브 연구 이준하 pp.27-30

Electrical and Optical Properties in Transparent Conducting Oxides : Effect of Ultra Violet Irradiation 황진하, 서병수 pp.65-69

PZT를 이용한 Semi-inchworm 구동기법의 초정밀 회전 스테이지 개발 한창수, 안강호, 윤덕원 pp.37-41

노광시스템을 위한 자동 정렬 비젼시스템 조태훈, 서재용 pp.43-48

텍스쳐 기반의 G2T 검색자 개발 이용환, 조재훈, 김영섭, 이상범 pp.49-52

리튬 2차 전지의 열적 모델링 및 용량 예측에 관한 연구 김종원, 김광선, 이정수, 조현찬, 조장군, 호빈 pp.53-57

Numerical Study on the Air-Cushion Unit for Transportation of Large-Sized Glass Plate 임익태, 김광선, 전현주 pp.59-64

참고문헌 (7건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 (2001) Ultra precision positioning system for servo motor-piezo actuator using the dual servo loop and digital filter implementation , 미소장
2 (1990) “Precise positioning mechanism utilizing rapid deformations of piezoelectric elements Proceedings An Investigation of Micro Structure, 미소장
3 (1995) Miniature three-axis micropositioner for scanning proximal probe and other applications , 미소장
4 (1990) An Ultrahigh vacuum scaning tunneling microscope with a new inchworm mechanism Journal of Vacuum Science Technology, 미소장
5 nanoautomation solution for cutting-edge technologies, 미소장
6 Vibration of Mechanical and Structural Systems with microcomputer applications, HarperCollins Collage Publish 미소장
7 (2005) Development of manipulator for handling micro components in vacuum, 미소장

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