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Rotary stages in semiconductor, display industry and many other fields require challenging accuracy to perform their functions properly. Especially, Axis of rotation error on rotary system is significant; such as the spindle error motion of the aligner, wire bonder and inspector machine which result in the poor quality products. To evaluate and improve the performance of such precision rotary stage, undesired movements on the other 5 degrees of freedom of the rotary stage must be measured and analyzed. In this paper, we have measured the three translations and two tilt motions of the worm gear type spindle with high precision capacitive sensors. To obtain the radial error motion, we have used Donaldsons reversal technique. And the axial components of the spindle tilt error motion can be obtained accurately from the axial direction outputs of sensors by Estler face motion reversal technique. Further more we have designed and developed the sensor mounting jig with standard cylinder for reversal method.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
Development of Active Vibration Isolation Equipments Using Fuzzy Method 임경화, 진경복, 안채헌, Xun Yang pp.17-22

Effect of Mg2+ co-doping on luminescent properties of ZnGa2O4 : Mn2+ 류호진, Binod Kumar Singh, Kunwar Singh Bartwal pp.29-32

OLED 증착용 서큘러소스의 열적성능 해석 주영철, 엄태준, 이상욱, 김국원, 한충환 pp.39-42

TLP 평가기법을 이용한 Diode type의 ESD 보호소자 특성 평가 이태일, 김홍배 pp.53-57

탄소나노튜브로 둘러싸인 나노와이어 구조의 오실레이터 응용 송영진 pp.1-4

CoSi2 전극 구조의 증착법에 따른 특성 변화 연구 남형진 pp.5-9

Ar-Kr 혼합가스를이용한 OLED용 Al 전극 제작 김경환, 장경욱, 이원재, 김상모 pp.11-15

저속 회전 스테이지의 5자유도 회전축 오차 분석에 관한 연구 한창수, 이상무, 신동익, 김진호, 남경태, 윤덕원, 이융기 pp.23-27

습식화학법을 이용한 고순도 석영유리 기판 제조 및 특성평가 남병욱, 안정숙, 박성은, 신지식, 오한석 pp.33-38

구강 내부 맥파 계측을 위한 센서 시스템 연구 김경호 pp.43-47

반도체 세정 공정 평가를 위한 나노입자 안착 시스템 개발 김태성, 김호중, 남경탁, 김영길 pp.49-52
CNT/Cu 나노복합체의 제조 및 전기적 특성평가 이규만, 홍윤정, 김혜진, 김인우 pp.59-63

DFT를 이용한 Si(001) 기판의 에피택시 NiSi 구조 연구 김영철, 김대희, 서화일 pp.65-68

PMMA 유기 게이트 절연막의 농도와 두께에 따른 특성 장호정, 박형호, 전형탁, 유병철, 공수철, 신익섭, 신상배, 이학민, 장영철 pp.69-73

참고문헌 (7건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 (1968) procedures of the Institute of Mechanical Engineers, 미소장
2 (1972) A Simple Method for Separating Spindle Error from Test Ball Roundness Error, 미소장
3 (1996) Self- calibration: reversal, redundancy, error separation, and absolute testing, 미소장
4 (2002) Use and Calibration of Ultraprecision Axes of Rotation With Nanometer Level Metrology, 미소장
5 (1976) Some Theoretical Aspects of Error Separation Techniques in Surface Metrology, 미소장
6 (189-194) Implementation of the Estler face motion reversal technique, 미소장
7 (2007.4) Journal of the Semiconductor & Display Equipment Technology, 미소장

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