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국내기사

  • 수록정보 : Journal of the Korean physical society. vol. 58 no. 3 (Pt.1) (2011. 3), pp.467-471
  • 발행사항 : Seoul : Korean Physical Society, 2011.03.16
  • 자료이용 :
    • 서울관정기간행물실(524호)

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국내기사
On the Effect of Oxygen on the Etch Behavior of ZrO₂in an Inductively Coupled BCl₃/O₂Plasma
권광호, Alexander Efremov, 민남기, 윤선진, 홍문표, 이현우

  • 수록정보 : The journal of the Korean physical society. vol. 53 no. 4 Pt.Ⅰ(2008. 10), pp.1931-1938
  • 발행사항 : Seoul : Korean Physical Society, 2008.10.15
  • 자료이용 :
    • 서울관정기간행물실(524호)

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국내기사

  • 수록정보 : 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electrical and electronic material engineers. 제27권 제1호 (2014년 1월), pp.39-44
  • 발행사항 : 서울 : 한국전기전자재료학회, 2014.01.01
  • 자료이용 :
    • 서울관정기간행물실(524호)

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국내기사

  • 수록정보 : 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electrical and electronic material engineers. 제26권 제11호 (2013년 11월), pp.816-820
  • 발행사항 : 서울 : 한국전기전자재료학회, 2013.11.01
  • 자료이용 :
    • 서울관정기간행물실(524호)

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국내기사

  • 수록정보 : 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electrical and electronic material engineers. 제26권 제11호 (2013년 11월), pp.831-835
  • 발행사항 : 서울 : 한국전기전자재료학회, 2013.11.01
  • 자료이용 :
    • 서울관국가전략정보센터(107호)

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국내기사
O2/Ar 플라즈마를 이용한 구리호일 표면 개질에 관한 연구
이현우, 이종찬, 손진영, 김문근, 권광호

  • 수록정보 : 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electrical and electronic material engineers. 제26권 제11호 (2013년 11월), pp.836-840
  • 발행사항 : 서울 : 한국전기전자재료학회, 2013.11.01
  • 자료이용 :
    • 서울관정기간행물실(524호)

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국내기사

  • 수록정보 : 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electrical and electronic material engineers. 제24권 제10호 (2011년 10월), pp.790-793
  • 발행사항 : 서울 : 한국전기전자재료학회, 2011.10.01
  • 자료이용 :
    • 서울관정기간행물실(524호)

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국내기사
ICP Source를 이용한 저온 증착 a-SiNx:H 특성 평가
강성칠, 이동혁, 소현욱, 장진녕, 홍문표, 권광호

  • 수록정보 : 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electrical and electronic material engineers. 제24권 제7호 (2011년 7월), pp.532-536
  • 발행사항 : 서울 : 한국전기전자재료학회, 2011.07.01
  • 자료이용 :
    • 서울관정기간행물실(524호)

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국내기사

  • 수록정보 : 전기전자재료학회논문지= Journal of the Korean institute of electrical and electronic material engineers. 제24권 제2호 (2011년 2월), pp.89-94
  • 발행사항 : 서울 : 한국전기전자재료학회, 2011.02.01
  • 자료이용 :
    • 서울관정기간행물실(524호)

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국내기사

  • 수록정보 : 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electrical and electronic material engineers. 제24권 제6호 (2011년 6월), pp.445-448
  • 발행사항 : 서울 : 한국전기전자재료학회, 2011.06.01
  • 자료이용 :
    • 서울관정기간행물실(524호)

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