감사의 글
Nomenclatures
국문요약
목차
제 1 장 서론 12
제 1 절 연구배경 12
제 2 절 연구목적 14
제 2 장 이론 15
제 1 절 Leveler와 Brightener의 작용 Mechanism 15
제 2 절 Cyclic Voltammetric Stripping 18
1. CVS의 원리 18
2. CVS Voltammogram 19
3. CVS 상에서의 Sulfur 화합물 분석 21
제 3 장 실험 26
제 1 절 사용 약품 26
제 2 절 사용 장비 26
제 3 절 실험 방법 26
1. Leveler 첨가량 26
2. Brightener 첨가량 28
3. Formulation의 유효성 28
가. Leveler와 Brightener의 호환성 29
나. Throwing Power 29
다. 석출금속의 물성에 대한 Brightener의 영향 31
4. CVS 분석 31
가. Leveler 분석 31
나. Brightener의 분석 32
제 4 장 결과 및 고찰 33
제 1 절 Leveler 첨가량 33
제 2 절 Brightener 첨가량 35
제 3 절 Formulation의 유효성 38
1. Leveler와 Brightener의 호환성 38
2. Throwing Power 39
3. 석출금속의 물성에 대한 Brightener의 영향 43
제 4 절 CVS 분석 45
1. Leveler 분석 45
2. Brightener의 분석 48
제 5 장 결론 51
참고문헌 53
Abstract 55
Table 1. Base plating solution and operating condition 27
Table 2. Base plating solution and operating condition 29
Table 3. Operating condition of pilot bath 30
Table 4. Plating thickness (base solution) 33
Table 5. Plating thickness (PEG 4000, 50 ppm) 33
Table 6. Plating thickness (PEG 4000, 100 ppm) 33
Table 7. Plating thickness (PEG 4000, 200 ppm) 34
Table 8. Plating thickness (Polyallylamine 2.5 ppm) 34
Table 9. Plating thickness (Polyallylamine 5 ppm) 34
Table 10. Plating thickness (Polyallylamine 10 ppm) 35
Table 11. Appearance for DPS 36
Table 12. Appearance for SPS 36
Table 13. Appearance for bright assistant (DPS 3.5 ppm, SPS 25 ppm) 36
Figure 1. Copper reduction mode in aqueous solution 15
Figure 2. Plating layer without additive 16
Figure 3. Plating layer with brightener 17
Figure 4. Plating layer with brightener and leveler 17
Figure 5. Voltammogram of acid copper plating solution 20
Figure 6. Response curve for a typical SAS type additive 22
Figure 7. Response curve in a plating solution saturated with suppressor(normalized to VMS) 24
Figure 8. Leveler candidates 27
Figure 9. Brightener candidates 28
Figure 10. Measuring position for through hole 30
Figure 11. Hull Cell specimen 38
Figure 12. Photograph of 0.6Φ through hole (x100) 39
Figure 13. Photograph of 0.6Φ through hole (Le 1 mL/L) 40
Figure 14. Photograph of 0.6Φ through hole (Le 2 mL/L) 41
Figure 15. Photograph of 0.6Φ through hole (Le 4 mL/L) 42
Figure 16. Physical properties for brightener concentration 43
Figure 17. Physical properties for current density 44
Figure 18. Calibration graph for leveler 45
Figure 19. Calibration data for leveler 46
Figure 20. Analysis graph for leveler 47
Figure 21. Analysis data for leveler 48
Figure 22. Voltammogram for brightener 49
Figure 23. Analysis data for brightener 50