표제지
감사의 말씀
목차
국문요약 9
제Ⅰ장 서론 10
제Ⅱ장 기하학적 고찰 11
제1절 부호 및 용어에 관한 규약 11
제2절 수차론 13
1. Seidel 수차계수 14
2. 유한광선수차 16
3. 노광광학계용 오차 함수의 정의 21
4. Damped Least Squares Method 22
제Ⅲ장 평행 노광 광학계의 렌즈의 설계 25
제1절 설계요구사항 25
제2절 초기설계 26
제3절 설계 환경구축 28
제Ⅳ장 노광 광학계의 평가 44
제Ⅴ장 결론 57
참고문헌 58
ABSTRACT 60
[표 3-1] 시스템 설계 요구사항 25
[표 3-2] FEL의 위 28
[표 3-3] 입사동상의 Ray Set 34
[표 4-1] 노광면의 데이터 46
[표 4-2] program source list 46
[표 4-3] 노광면의 데이터(오목렌즈를 둔 경우) 56
[그림 2-1] 렌즈계의 부호규약 11
[그림 2-2] The signs of the quantities. u,h and I 12
[그림 2-3] 구면수차 16
[그림 2-4] 코마수차 17
[그림 2-5] 비점수차와 상면만곡 18
[그림 2-6] 왜곡수차 19
[그림 2-7] 종색수차와 횡색수차 20
[그림 2-8] 배율 색수차 20
[그림 3-1] 초기설계 광로도 26
[그림 3-2] Cold Mirror를 넣은 광로도 27
[그림 3-3] CFG5 초기 광로도 37
[그림 3-4] 최적화 광로도 37
[그림 3-5] SPOT DIAGRAM 39
[그림 3-6] 합성 광로도와 합성된 FEL 43
[그림 4-1] 설계되어진 노광광학계의 3차원 형상 44
[그림 4-2] 노광면의 광도분포와 노광면적 45
[그림 4-3] FEL의 크기를 20.3mm × 18.7mm인 경우의 노광면적 1340mm×1020mm 53
[그림 4-4] FEL앞에 콜리메이션렌즈(오목렌즈)를 둔 경우 54
[그림 4-5] FEL앞에 콜리메이션렌즈(오목렌즈)를 둔 경우의 광도 분포 55