표제지
Abstract
목차
기호설명 13
제1장 서론 14
제2장 이론적 배경 16
2.1. 1자유도계의 진동 16
2.2. 다자유도계의 진동 17
2.3. 진동의 발생 20
2.3.1. 회전 불균형 20
2.4. 확대 계수 22
2.5. 전달 함수 23
2.5.1. 1자유도 시스템의 전달 함수 23
2.5.2. 2자유도 시스템의 전달 함수 25
제3장 진동 분석 실험 및 결과 32
3.1. 진동 분석 실험 32
3.1.1. 실험 개요 32
3.1.2. 실험 장비 32
3.1.3. 진동 분석(transfer function) 34
3.2. 지면 진동 측정 및 결과 37
3.3. 베이스(base) 진동 측정 및 결과 39
3.4. 헤드(head) 진동 측정 및 결과 41
제4장 유한요소해석을 이용한 모델링 및 진동 분석 43
4.1. 유한요소해석 모델 43
4.2. 유한요소해석 결과 44
4.3. 주파수분석 실험과 유한요소해석 결과 비교 45
제5장 안정화 설계 개선 46
5.1. 개선 방향 설정 46
5.2. 설계 변경 내용 46
5.2.1. 지지부 설계 변경 및 결과 46
5.2.2. Plate motor bracket 추가 설계 및 결과 49
5.2.3. Base 지지부 추가 설계 및 결과 51
5.3. 최종 설계 개선 및 결과 52
제6장 결론 및 고찰 55
참고문헌 56
[표 3.1] Spec. of the test equipments 33
[표 3.2] 구조물 고유진동수 35
[표 3.3] Base 진동량 40
[표 3.4] Head 진동량 평균 42
[표 4.1] Natural frequency from the experiment and the computer simulation 45
[표 5.1] 지지부 높이에 따른 진동량 47
[표 5.2] 지지부 불균형에 따른 진동량 48
[표 5.3] 추가 설계 후 진동량 분석 50
[표 5.4] 최적 설계안 진동량 분석 54
[그림 1.1] 기판 제조 공정 14
[그림 2.1] One degree of freedom system 16
[그림 2.2] Two degree of freedom system 17
[그림 2.3] Typical mode shapes of a cantilever beam 19
[그림 2.4] A dynamic system with rotating unbalance 20
[그림 2.5] Magnification factor 22
[그림 2.6] Transfer function G(jω) 24
[그림 2.7] Two degree of freedom system 25
[그림 2.8] Transfer function Gp1(jω)(이미지참조) 26
[그림 2.9] Transfer function Gp2(jω)(이미지참조) 27
[그림 2.10] Real and imaginary part of the direct transfer function G₁(jω) 29
[그림 2.11] Real and imaginary part of the cross transfer function G₂(jω) 30
[그림 2.12] Typical mode shapes of a cantilever beam 31
[그림 3.1] The setup for the frequency response test 32
[그림 3.2] wafer polishing m/c 33
[그림 3.3] 구조물의 transfer function 34
[그림 3.4] wafer polishing m/c 측정 위치 35
[그림 3.5] Mode shapes of the monitor (1st~6th) 36
[그림 3.6] 지면 진동량 37
[그림 3.7] 지면 진동 측정 위치 38
[그림 3.8] base 진동량 39
[그림 3.9] base 진동 측정 위치 40
[그림 3.10] head 진동량 41
[그림 3.11] head 측정 위치 42
[그림 4.1] 유한요소해석 모델 43
[그림 4.2] Mode shapes of the monitor (1st~6th) 44
[그림 4.3] Diagram of the comparison between experiment and simulation 45
[그림 5.1] wafer polishing m/c 지지부 46
[그림 5.2] 지지부 높이에 따른 진동량 47
[그림 5.3] 지지부 불균형에 따른 진동량 48
[그림 5.4] Plate motor bracket 개선안 49
[그림 5.5] 추가 설계 후 진동량 분석 50
[그림 5.6] 지지부 개선안 51
[그림 5.7] Magunitudes of vibrations along X, Y, Z directions 53
[그림 5.8] Magunitudes of vibrations along X, Y, Z directions 53
수식 2.1. (제목없음) 16
수식 2.2. (제목없음) 16
수식 2.3. (제목없음) 17
수식 2.4. (제목없음) 18
수식 2.5. (제목없음) 18
수식 2.6. (제목없음) 18
수식 2.7. (제목없음) 18
수식 2.8. (제목없음) 18
수식 2.9. (제목없음) 21
수식 2.10. (제목없음) 21
수식 2.11. (제목없음) 21
수식 2.12. (제목없음) 21
수식 2.13. (제목없음) 22
수식 2.14. (제목없음) 22
수식 2.15. (제목없음) 23
수식 2.16. (제목없음) 23
수식 2.17. (제목없음) 24
수식 2.18. (제목없음) 24
수식 2.19. (제목없음) 24
수식 2.20. (제목없음) 25
수식 2.21. (제목없음) 25
수식 2.22. (제목없음) 26
수식 2.23. (제목없음) 26
수식 2.24. (제목없음) 26
수식 2.25. (제목없음) 26
수식 2.26. (제목없음) 27
수식 2.27. (제목없음) 27
수식 2.28. (제목없음) 27
수식 2.29. (제목없음) 28
수식 2.30. (제목없음) 28
수식 2.31. (제목없음) 28
수식 2.32. (제목없음) 28
수식 2.33. (제목없음) 28
수식 2.34. (제목없음) 29
수식 2.35. (제목없음) 29
수식 2.36. (제목없음) 29
수식 2.37. (제목없음) 29
수식 2.38. (제목없음) 30
수식 2.39. (제목없음) 30
수식 2.40. (제목없음) 31
수식 2.41. (제목없음) 31
수식 2.42. (제목없음) 31