표제지
Abstract
요약
목차
제1장 서론 14
1.1. 연구의 배경 및 목적 14
제2장 이론적 배경 18
2.1. 플라즈마 이론 18
2.1.1. 플라즈마 상태 18
2.1.2. 플라즈마 변수들 20
2.1.2.1. 플라즈마 밀도 20
2.1.2.2. 플라즈마 온도 21
2.1.2.3. 전자온도 21
2.1.2.4. 디바이 차폐(debye shielding) 22
2.1.2.5. 플라즈마 쉬스(sheath) 24
2.1.2.6. 플라즈마의 종류(plasma types) 26
2.1.3. 플라즈마의 발생 28
2.1.3.1. Townsend 盂-process 28
2.1.3.2. γ - process 29
2.1.3.3. Paschen's law 31
2.2. 플라즈마의 종류 및 특성 32
2.2.1. 글로우방전 (glow Discharge) 33
2.2.2. 코로나 방전 (Corona discharge) 35
2.2.3. 유전체장벽방전 (Dielectric barrier discharge) 35
2.2.3. RF 방전 (Radio frequency discharge) 36
2.2.3. 마이크로웨이브 방전 (Microwave discharge) 39
2.3. 건식 세정의 원리 41
2.3.1. 건식 세정방식의 종류 41
2.3.1.1. Vapor phase 세정 41
2.3.1.2. UV/O₃ and UV/Cl₂ 세정 42
2.3.1.3. 플라즈마 세정 44
2.3.2. 플라즈마 세정의 원리 45
제3장 실험장치 및 방법 48
3.1. 실험장치 48
3.2. 플라즈마 헤더 제작 51
제4장 연구결과 및 고찰 56
4.1. 플라즈마 헤더의 광학특성 실험 56
4.2. 플라즈마 헤더의 접촉각 특성실험 66
제5장 결론 75
Reference 77
Table 1. Method of the dry cleaning 41
Table 2. Contact angle after argon plasma treatment. 70
Table 3. Contact angle after argon-oxygen plasma treatment. 72
Table 4. Contact angle after argon-nitrogen plasma treatment. 74
Fig.1. State of the plasma. 18
Fig.2. Formation of the sheath 24
Fig.3. Relation of the Temp. vs Electron Density 27
Fig.4. Electron avalanche by the collision 30
Fig.5. Paschen curve 31
Fig.6. Type of the plasma as pressure and discharge. 32
Fig.7. Voltage distribution and discharge across dc glow discharge. 32
Fig.8. DC glow discharge. 33
Fig.9. Corona discharge. 35
Fig.10. Structure of the DBD 36
Fig.11. Formation of metal chlorides and removal through lift-off process 44
Fig.12. Cleaning mechanism of the plasma 46
Fig.13. Schematic diagram of experimental apparatus 49
Fig.14. Figure of the power line 49
Fig.15. Matching box and RF power 50
Fig.16. Figure of the Gas line 50
Fig.17. Picture of the gas mixing line 51
Fig.18. Schematic of the plasma head for DC power 52
Fig.19. Schematic of the plasma head for RF power 52
Fig.20. Schematic of the plasma head for power line 53
Fig.21. Schematic of the plasma head for experiment 53
Fig.22. Figure of the plasma head 54
Fig.23. Figure of the plasma head parts 55
Fig.24. Block diagram of investigation of light spectrum 56
Fig.25. light spectrum of plasma head 57
Fig.26. Ar ions light spectrum line (in 650-920nm) 58
Fig.27. N₂ light spectrum line 59
Fig.28. Light spectrum of the argon ions 60
Fig.29. Spectrum intensity of argon ions in 763[nm] 61
Fig.30. Spectrum intensity of nitrogen ions 62
Fig.31. Spectrum intensity of oxygen ions 62
Fig.32. Spectrum intensity of argon ions by Ar pressure 64
Fig.33. Spectrum intensity of nitrogen ions by N₂ pressure 64
Fig.34. Spectrum intensity of oxygen ions by N₂ pressure 65
Fig.35. Block diagram for measurement of contact angle 66
Fig.36. Contact angle device and installation 67
Fig.37. Contact angle measurement program 68
Fig.38. Figure of drop before(a) and after(b) 68
Fig.39. Figure of contact angle after argon plasma treatment. 69
Fig.40. Contact angle after argon + oxygen plasma treatment 71
Fig.41. Contact angle after argon + nitrogen plasma treatment 73
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