표제지
목차
I. 서론 및 연구목적 8
II. 이론적 배경 10
1. 연마재의 역사와 초연마재의 특성 10
1) 연마재의 역사 10
2) 초연마재의 물리적 특성 11
3) 초연마재의 화학적 특성 11
2. 절삭공구산업의 성격 14
1) 절삭공구의 정의와 분류 14
2) 국내 절삭공구산업 현황 14
3) 사용재료에 따른 절삭공구 분류 15
3. 분말야금법 17
1) 가공된 분말의 분급 17
2) 산화 분말의 환원 18
3) 가압첨가제 활용 19
4. DLC(Diamond-Like Carbon) 20
5. 마모(Wear) 22
1) 마모의 분류 22
2) 마모 이론 및 마모층 24
III. 실험 방법 26
1. 시편의 제조 26
1) 사용원료 분말 26
2) 시편의 제조 27
3) DLC 박막 증착 30
2. 특성 평가 33
1) 마모 시험 33
2) 'dicing' 시험 33
3) 시험 후 시편의 SEM 분석 34
IV. 결과 및 고찰 36
1. DLC 코팅에 따른 기계적 특성 비교 36
2. Dicing Test에 의한 블레이드의 수명 비교 39
3. Dicing Test 중 순간 소모 전력 변화 43
4. 피삭재의 Dicing을 통한 절삭면의 품질 평가 44
V. 결론 45
VI. 참고문헌 46
Summary 48
Table 1. Development of abrasive materials 10
Table 2. Primary metal oxide deoxidation temperature 18
Table 3. List of commonly used lubricants 19
Table 4. Physical properties of Diamond, carbon compounds and DLC. 21
Table 5. Characteristics of various DLC. 21
Table 6. Classification of wear I 23
Table 7. Classification of wear II 23
Table 8. Chemical composition of bond metals for micro-blades. 27
Table 9. Condition of hybrid DLC coating. 31
Table 10. Frictional coefficient of DLC coating & uncoating 37
Fig. 1. Crystal structure of graphite (a), diamonds (b), CBN (c) 13
Fig. 2. Stable region of diamond and graphite 13
Fig. 3. Schematic diagram of Carbon mold 28
Fig. 4. Schematic diagram of fabrication process 28
Fig. 5. Micro Blade & Block 29
Fig. 6. Schematic diagram of screen nitriding process. 31
Fig. 7. SEM micrograph of cross sectioned micro-blade surface depicting substrate and coating layer 32
Fig. 8. EDS line profile analysis of the side plane of micro blade after DLC coating 32
Fig. 9. ADM-6S Micro Blade Dicing Test(Okamoto Co.) Machine 35
Fig. 10. Borosilicate glass 35
Fig. 11. Comparison of specific wear rate of disc specimens(0.5N) 38
Fig. 12. Schematic diagram shows the definitions of variables in calculating the wear volume of disc after wear test 38
Fig. 13. Reduction in volume of micro-blades during dicing test 39
Fig. 14. SEM micrographs of the outset of micro-blades after dicing test 41
Fig. 15. SEM micrographs of the side plane of micro-blades after dicing test 41
Fig. 16. EDS line profile analysis of the side plane of micro blade after dicing borosilicate glass(BK7, JIS) 42
Fig. 17. Change in momentary energy consumption of various types of micro-blades during dicing test 43
Fig. 18. SEM micrographs of workpiece chipping after dicing test 44