표제지
Abstract
요약
목차
기호설명 12
제1장 서론 13
제2장 평판 디스플레이 개요 15
2.1. 디스플레이 산업 개요 15
2.1.1. 디스플레이 산업의 변천 15
2.2. 평판 디스플레이별 개요와 공정 16
2.2.1. PDP(Plasma Display Panel) 16
2.2.2. TFT-LCD(Liquid Crystal Display) 17
2.2.3. 평판 디스플레이 비교 19
2.3. 기존의 비접촉 박막 검출 기술 20
2.3.1. 광 간섭 측정을 이용한 두께 측정 20
2.3.2. 비젼 시스템을 이용한 비접촉 두께 측정 21
2.3.3. 레이저를 이용한 비접촉 두께 측정 23
제3장 RGB 센서를 이용한 검출장치 설계 25
3.1. RGB 검출기 설계 26
3.2. RGB 센서 검출기 컨트롤러 설계 28
3.2.1. Step-Down Converter 회로 28
3.2.2. ATmega328P 마이크로컨트롤러 회로 30
3.3. RGB 센서 박막 검출 Software 설계 31
제4장 제작 및 시험 34
4.1. RGB 검출기 제작 34
4.2. RGB 검출기 마이크로컨트롤러 제작 35
4.3. RGB 센서 검출기 시험 36
4.3.1. 광원과 RGB 센서 위치별 특성 시험 37
4.3.2. RGB 센서 반사형에서 검출 능력 시험 37
4.3.3. Substrate 위치별 RGB 센서 신뢰성 시험 40
4.3.4. Substrate 하부막별 RGB 센서 영향도 시험 41
4.3.5. 다양한 환경에서의 RGB 센서 시험 43
4.4. 레이저 센서를 이용한 시험 결과 48
4.4.1. 라인형 레이저 센서를 이용한 시험 49
4.4.2. 검출거리가 다른 레이저 센서를 이용한 시험 51
4.5. 비젼 시스템을 이용한 시험 52
4.6. 기존 비접촉 검출 시스템과 RGB 검출기 비교 55
제5장 결론 57
참고문헌 58
표 2.1. TFT LCD 제조 공정별 특징 18
표 2.2. 평판 디스플레이별 장단점 20
표 2.3. 박막 검출 시스템 장단점 24
표 4.1. RGB검출기와 화이트 광원에 따른 RGB 파장대 39
표 4.2. 색상별 RGB Code 환산 결과 39
표 4.3. 시료별 파장대 측정 결과 46
표 4.4. 시료별 연산 결과 46
표 4.5. 타입별 레이저 센서의 특징 49
표 4.6. 비젼 시스템 재현성 평가 결과 54
표 4.7. 기존 비접촉 방식과 RGB 검출방식 비교 56
그림 2.1. 디스플레이 산업의 변천 15
그림 2.2. PDP 동작 원리 16
그림 2.3. PDP 제조 공정도 17
그림 2.4. LCD 디스플레이 동작 원리 18
그림 2.5. LCD 단면 구조 19
그림 2.6. 평판별 디스플레이 단면 19
그림 2.7. 박막에서 광의 간섭 현상과 Spectrum 21
그림 2.8. 비젼 시스템을 이용한 두께 측정 22
그림 2.9. CCD와 스크린에서의 두 점간의 거리 관계 23
그림 2.10. CCD와 평행 레이저를 이용한 측정법 24
그림 3.1. 투명 박막 검출기 구성 25
그림 3.2. RGB 검출기 회로 26
그림 3.3. RGB 센서 Block Diagram 27
그림 3.4. RGB 센서 Gain Select별 출력 27
그림 3.5. RGB 센서 상대적 파장값 28
그림 3.6. Linear regulator 회로 29
그림 3.7. Adjustable Output Regulator 29
그림 3.8. ATmega328P 마이크로컨트롤러 회로 30
그림 3.9. 마이크로컨트롤러 소스코드 31
그림 3.10. RGB Data 수신 및 데이터 분리 LabVIEW Block diagram 32
그림 3.11. RGB Data 연산 LabVIEW Block Diagram 33
그림 3.12. 투명 박막 검출 LabVIEW Front Panel 33
그림 4.1. RGB 검출기 34
그림 4.2. RGB 마이크로컨트롤러 35
그림 4.3. 투명 박막 검출기 시험 환경 36
그림 4.4. RGB 검출기의 위치 38
그림 4.5. RGB검출기 Gauge R&R 결과 40
그림 4.6. 하부막 A시료, Positive resist 유/무 Substrate 41
그림 4.7. 하부막 B시료, Positive resist 유/무 Substrate 42
그림 4.8. 하부막 C시료, Positive resist 유/무 Substrate 42
그림 4.9. 하부막별 투명 박막 데이터 검증 결과와 하부막별 범위 43
그림 4.10. 다양한 환경에서의 시험 44
그림 4.11. 투명 박막이 없는 시료 A, B, C, D에서 RGB 파장대 44
그림 4.12. 투명 박막이 없는 조건에서 녹색, 청색 파장대의 합성값 44
그림 4.13. 시료별 테이터 구간 분포도 46
그림 4.14. 시료별 투명 박막 유무 레벨 47
그림 4.15. 시료별 Y값에 대한 신뢰성 검증 48
그림 4.16. 레이저 센서 A타입을 이용한 Test 환경 50
그림 4.17. 레이저 센서 B타입을 이용한 Test 환경 50
그림 4.18. 레이저 센서 C타입을 이용한 Test 환경 50
그림 4.19. 레이저 센서 A타입 측정 결과 51
그림 4.20. 레이저 센서 B타입 측정 결과 52
그림 4.21. 비젼 시스템 시험 환경 52
그림 4.22. 비젼 시스템 1차 투명 박막 시험 결과 53
그림 4.23. 비젼 시스템 1차 비투명 박막 시험 결과 54
그림 4.24. 비젼 시스템 2차 투명 박막 시험 결과 54
그림 4.25. 비젼 시스템 2차 비투명 박막 시험 결과 55
그림 4.26. 비젼 시스템 시험 환경 변화 55
수식 2.1. (제목없음) 20
수식 2.2. (제목없음) 21
수식 2.3. (제목없음) 21
수식 2.4. (제목없음) 22
수식 2.5. (제목없음) 22
수식 3.1. (제목없음) 29
수식 4.1. (제목없음) 45